杭州师范大学学报（自然科学版）
杭州師範大學學報（自然科學版）
항주사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HANGZHOU NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2015年
1期
72-76
,共5页
白光干涉仪%有限元分析%位移平台
白光榦涉儀%有限元分析%位移平檯
백광간섭의%유한원분석%위이평태
为了实现对工件表面质量进行预测和控制,对砂轮表面的三维形貌测量、表征和评价就显得尤为重要.设计了一款砂轮检测用白光垂直扫描干涉仪三维运动机台,主要分为XY向位移平台部分、砂轮旋转定位部分、桥式立柱部分以及含有柔性铰链的Z向微位移系统部分,通过有限元静动力学分析优化机台结构,使其满足使用要求.实现XY向位移平台单脉冲步长0.3125 μm,Z向精级机构行程15 μm,精度0.03 μm.
為瞭實現對工件錶麵質量進行預測和控製,對砂輪錶麵的三維形貌測量、錶徵和評價就顯得尤為重要.設計瞭一款砂輪檢測用白光垂直掃描榦涉儀三維運動機檯,主要分為XY嚮位移平檯部分、砂輪鏇轉定位部分、橋式立柱部分以及含有柔性鉸鏈的Z嚮微位移繫統部分,通過有限元靜動力學分析優化機檯結構,使其滿足使用要求.實現XY嚮位移平檯單脈遲步長0.3125 μm,Z嚮精級機構行程15 μm,精度0.03 μm.
위료실현대공건표면질량진행예측화공제,대사륜표면적삼유형모측량、표정화평개취현득우위중요.설계료일관사륜검측용백광수직소묘간섭의삼유운동궤태,주요분위XY향위이평태부분、사륜선전정위부분、교식립주부분이급함유유성교련적Z향미위이계통부분,통과유한원정동역학분석우화궤태결구,사기만족사용요구.실현XY향위이평태단맥충보장0.3125 μm,Z향정급궤구행정15 μm,정도0.03 μm.
