传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
3期
15-17,20
,共4页
朱京%温廷敦%许丽萍%陈磊
硃京%溫廷敦%許麗萍%陳磊
주경%온정돈%허려평%진뢰
介观压光效应%光子晶体%MEMS陀螺%静电驱动
介觀壓光效應%光子晶體%MEMS陀螺%靜電驅動
개관압광효응%광자정체%MEMS타라%정전구동
mesoscopoc calender effect%photonic crystals%MEMS gyroscope%electrostatic driven
依据介观压光效应原理,设计出了一种新型高灵敏谐振式MEMS陀螺,其利用镜像异质三周期光子晶体的介观压光效应代替传统压阻式微陀螺中的力敏电阻器,当光子晶体受轴向应力作用时,其透射率随之发生变化,因此,通过检测透射光强可解算出输入角速度的大小.陀螺结构采用4对梳齿电容驱动,驱动模块与检测模块相互独立,其具有耦合效应小,机械灵敏度高的特点.经数值计算与仿真分析,得到该微陀螺频率匹配率为0.6％,透射率灵敏度达到73μcd/(°)/s,证明了其频率匹配良好,可实现高灵敏度的角速度的测量.
依據介觀壓光效應原理,設計齣瞭一種新型高靈敏諧振式MEMS陀螺,其利用鏡像異質三週期光子晶體的介觀壓光效應代替傳統壓阻式微陀螺中的力敏電阻器,噹光子晶體受軸嚮應力作用時,其透射率隨之髮生變化,因此,通過檢測透射光彊可解算齣輸入角速度的大小.陀螺結構採用4對梳齒電容驅動,驅動模塊與檢測模塊相互獨立,其具有耦閤效應小,機械靈敏度高的特點.經數值計算與倣真分析,得到該微陀螺頻率匹配率為0.6％,透射率靈敏度達到73μcd/(°)/s,證明瞭其頻率匹配良好,可實現高靈敏度的角速度的測量.
의거개관압광효응원리,설계출료일충신형고령민해진식MEMS타라,기이용경상이질삼주기광자정체적개관압광효응대체전통압조식미타라중적력민전조기,당광자정체수축향응력작용시,기투사솔수지발생변화,인차,통과검측투사광강가해산출수입각속도적대소.타라결구채용4대소치전용구동,구동모괴여검측모괴상호독립,기구유우합효응소,궤계령민도고적특점.경수치계산여방진분석,득도해미타라빈솔필배솔위0.6％,투사솔령민도체도73μcd/(°)/s,증명료기빈솔필배량호,가실현고령민도적각속도적측량.
