传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
3期
18-20
,共3页
刘海军%蒋洪川%吴勐%赵晓辉%蒋书文%张万里
劉海軍%蔣洪川%吳勐%趙曉輝%蔣書文%張萬裏
류해군%장홍천%오맹%조효휘%장서문%장만리
Pt/ITO薄膜热电偶%射频磁控溅射%静态标定%Seebeck系数
Pt/ITO薄膜熱電偶%射頻磁控濺射%靜態標定%Seebeck繫數
Pt/ITO박막열전우%사빈자공천사%정태표정%Seebeck계수
Pt/ITO thin-film thermocouples%RF magnetron sputtering%static calibration%Seebeck coefficient
为了准确测量涡轮叶片表面温度,采用掩模图形化和射频磁控溅射的方法,在A12O3陶瓷基片上沉积Pt/ITO薄膜热电偶,并对其进行了静态标定.结果表明:Pt/ITO薄膜热电偶在1 000℃进行大气气氛退火,随着退火时间的增加,样品热电势输出曲线稳定性逐渐增强,Seebeck系数也较大,标定曲线均具有很好的线性度,退火5h的样品的最大测温误差仅为16.03℃,可在400～1100℃温度范围热循环中稳定工作约20 h.ITO薄膜厚度对Pt/ITO薄膜热电偶热电性能几乎没有影响.
為瞭準確測量渦輪葉片錶麵溫度,採用掩模圖形化和射頻磁控濺射的方法,在A12O3陶瓷基片上沉積Pt/ITO薄膜熱電偶,併對其進行瞭靜態標定.結果錶明:Pt/ITO薄膜熱電偶在1 000℃進行大氣氣氛退火,隨著退火時間的增加,樣品熱電勢輸齣麯線穩定性逐漸增彊,Seebeck繫數也較大,標定麯線均具有很好的線性度,退火5h的樣品的最大測溫誤差僅為16.03℃,可在400～1100℃溫度範圍熱循環中穩定工作約20 h.ITO薄膜厚度對Pt/ITO薄膜熱電偶熱電性能幾乎沒有影響.
위료준학측량와륜협편표면온도,채용엄모도형화화사빈자공천사적방법,재A12O3도자기편상침적Pt/ITO박막열전우,병대기진행료정태표정.결과표명:Pt/ITO박막열전우재1 000℃진행대기기분퇴화,수착퇴화시간적증가,양품열전세수출곡선은정성축점증강,Seebeck계수야교대,표정곡선균구유흔호적선성도,퇴화5h적양품적최대측온오차부위16.03℃,가재400～1100℃온도범위열순배중은정공작약20 h.ITO박막후도대Pt/ITO박막열전우열전성능궤호몰유영향.
