传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
3期
34-36
,共3页
顾春虎%殷晨波%朱亚军%朱斌
顧春虎%慇晨波%硃亞軍%硃斌
고춘호%은신파%주아군%주빈
声表面波%纳米线%气体传感器%本征频率
聲錶麵波%納米線%氣體傳感器%本徵頻率
성표면파%납미선%기체전감기%본정빈솔
surface acoustic wave(SAW)%nanowires%gas sensor%eigenfrequency
基于COMSOL Muhiphysics软件,建立了含Pd纳米线的声表面波(SAW)传感器三维模型,以YZ铌酸锂为压电基底,叉指电极固定于基底表面,分析了Pd纳米线长度对模型本征频率的影响.对电极施加20V电压得到了不同氢气体积分数下电极上电导纳值和本征频率偏移值.通过磁控溅射制作了Pd薄膜,设计了SAW传感器测试夹具,得到了传感器氢敏特性.将仿真值与实验值进行对比,得到了含Pd纳米线氢敏材料的SAW传感器具有比含面形Pd膜传感器更高的灵敏度.
基于COMSOL Muhiphysics軟件,建立瞭含Pd納米線的聲錶麵波(SAW)傳感器三維模型,以YZ鈮痠鋰為壓電基底,扠指電極固定于基底錶麵,分析瞭Pd納米線長度對模型本徵頻率的影響.對電極施加20V電壓得到瞭不同氫氣體積分數下電極上電導納值和本徵頻率偏移值.通過磁控濺射製作瞭Pd薄膜,設計瞭SAW傳感器測試夾具,得到瞭傳感器氫敏特性.將倣真值與實驗值進行對比,得到瞭含Pd納米線氫敏材料的SAW傳感器具有比含麵形Pd膜傳感器更高的靈敏度.
기우COMSOL Muhiphysics연건,건립료함Pd납미선적성표면파(SAW)전감기삼유모형,이YZ니산리위압전기저,차지전겁고정우기저표면,분석료Pd납미선장도대모형본정빈솔적영향.대전겁시가20V전압득도료불동경기체적분수하전겁상전도납치화본정빈솔편이치.통과자공천사제작료Pd박막,설계료SAW전감기측시협구,득도료전감기경민특성.장방진치여실험치진행대비,득도료함Pd납미선경민재료적SAW전감기구유비함면형Pd막전감기경고적령민도.
