传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
3期
77-80
,共4页
简泽明%张国军%刘梦然%郭楠%张文栋
簡澤明%張國軍%劉夢然%郭楠%張文棟
간택명%장국군%류몽연%곽남%장문동
MEMS仿生水听器%优化%灵敏度%频带
MEMS倣生水聽器%優化%靈敏度%頻帶
MEMS방생수은기%우화%령민도%빈대
MEMS bionic hydrophone%optimization%sensitivity%frequency band
针对目前MEMS仿生矢量水听器灵敏度偏低和现有封装结构的固有机械特性对芯片拾振特性影响很大的问题,对该结构水听器从两个方面进行优化设计,一是提出一种新型纤毛材料碳棒代替光纤,二是提出嵌入式透声帽封装结构.首先理论分析纤毛和封装对水听器灵敏度和频带的影响,并用ANSYS软件对其进行仿真,最后对加工的水听器样机进行频响和指向性测试.测试结果表明:在25 ～300 Hz,优化后的水听器灵敏度提高了5 dB;在300～ 1000 Hz,优化后水听器灵敏度提高10 dB,优化后水听器的共振峰明显后移,拓宽了水听器的工作频带,且具有良好的指向性,为水听器进一步的发展和工程应用奠定了基础.
針對目前MEMS倣生矢量水聽器靈敏度偏低和現有封裝結構的固有機械特性對芯片拾振特性影響很大的問題,對該結構水聽器從兩箇方麵進行優化設計,一是提齣一種新型纖毛材料碳棒代替光纖,二是提齣嵌入式透聲帽封裝結構.首先理論分析纖毛和封裝對水聽器靈敏度和頻帶的影響,併用ANSYS軟件對其進行倣真,最後對加工的水聽器樣機進行頻響和指嚮性測試.測試結果錶明:在25 ～300 Hz,優化後的水聽器靈敏度提高瞭5 dB;在300～ 1000 Hz,優化後水聽器靈敏度提高10 dB,優化後水聽器的共振峰明顯後移,拓寬瞭水聽器的工作頻帶,且具有良好的指嚮性,為水聽器進一步的髮展和工程應用奠定瞭基礎.
침대목전MEMS방생시량수은기령민도편저화현유봉장결구적고유궤계특성대심편습진특성영향흔대적문제,대해결구수은기종량개방면진행우화설계,일시제출일충신형섬모재료탄봉대체광섬,이시제출감입식투성모봉장결구.수선이론분석섬모화봉장대수은기령민도화빈대적영향,병용ANSYS연건대기진행방진,최후대가공적수은기양궤진행빈향화지향성측시.측시결과표명:재25 ～300 Hz,우화후적수은기령민도제고료5 dB;재300～ 1000 Hz,우화후수은기령민도제고10 dB,우화후수은기적공진봉명현후이,탁관료수은기적공작빈대,차구유량호적지향성,위수은기진일보적발전화공정응용전정료기출.
