传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
3期
94-96,102
,共4页
李玉平%何常德%张娟婷%张慧%宋金龙%薛晨阳
李玉平%何常德%張娟婷%張慧%宋金龍%薛晨暘
리옥평%하상덕%장연정%장혜%송금룡%설신양
电容式微加工超声传感器%C-SOI工艺%ANSYS%成像阵列%一致性
電容式微加工超聲傳感器%C-SOI工藝%ANSYS%成像陣列%一緻性
전용식미가공초성전감기%C-SOI공예%ANSYS%성상진렬%일치성
capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT)%C-SOI technology%ANSYS%imaging array%uniformity
提出了一种新的基于C-SOI工艺制备的电容式微加工超声传感器(CMUT)的方法.通过对加工过程中一些关键工艺步骤进行测试,发现所加工的微传感器尺寸与设计尺寸基本一致,且刻蚀的空腔高度均匀,键合效果良好,证明了工艺流程的可行性.此外,通过对所加工的传感器阵列进行测试发现,各阵元谐振频率和静态电容具有良好的一致性,说明以C-SOI工艺加工的CMUT器件满足设计要求,且适宜加工大阵列,这种加工技术使得加工成像阵列成为可能.
提齣瞭一種新的基于C-SOI工藝製備的電容式微加工超聲傳感器(CMUT)的方法.通過對加工過程中一些關鍵工藝步驟進行測試,髮現所加工的微傳感器呎吋與設計呎吋基本一緻,且刻蝕的空腔高度均勻,鍵閤效果良好,證明瞭工藝流程的可行性.此外,通過對所加工的傳感器陣列進行測試髮現,各陣元諧振頻率和靜態電容具有良好的一緻性,說明以C-SOI工藝加工的CMUT器件滿足設計要求,且適宜加工大陣列,這種加工技術使得加工成像陣列成為可能.
제출료일충신적기우C-SOI공예제비적전용식미가공초성전감기(CMUT)적방법.통과대가공과정중일사관건공예보취진행측시,발현소가공적미전감기척촌여설계척촌기본일치,차각식적공강고도균균,건합효과량호,증명료공예류정적가행성.차외,통과대소가공적전감기진렬진행측시발현,각진원해진빈솔화정태전용구유량호적일치성,설명이C-SOI공예가공적CMUT기건만족설계요구,차괄의가공대진렬,저충가공기술사득가공성상진렬성위가능.
