传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2015年
3期
100-102
,共3页
章晓明%刘晓东%班炯%陈靖宇%顾小稳
章曉明%劉曉東%班炯%陳靖宇%顧小穩
장효명%류효동%반형%진정우%고소은
微力传感器%有限元分析%静态标定%误差分析
微力傳感器%有限元分析%靜態標定%誤差分析
미력전감기%유한원분석%정태표정%오차분석
micro-force sensor%FEA%static calibration%error analysis
设计了一种新型微力传感器,利用电阻式应变原理,采用柱式结构,量程小,灵敏度高,灵敏度可达0.0575V/N,适用于微力测量.对其弹性元件进行有限元静力分析和模态分析,传感器弹性元件的纵向应变量高于一般的力传感器,固有频率远高于常见的外部动态力频率,几乎不会发生共振现象;最后对微力传感器进行静态标定和误差分析.
設計瞭一種新型微力傳感器,利用電阻式應變原理,採用柱式結構,量程小,靈敏度高,靈敏度可達0.0575V/N,適用于微力測量.對其彈性元件進行有限元靜力分析和模態分析,傳感器彈性元件的縱嚮應變量高于一般的力傳感器,固有頻率遠高于常見的外部動態力頻率,幾乎不會髮生共振現象;最後對微力傳感器進行靜態標定和誤差分析.
설계료일충신형미력전감기,이용전조식응변원리,채용주식결구,량정소,령민도고,령민도가체0.0575V/N,괄용우미력측량.대기탄성원건진행유한원정력분석화모태분석,전감기탄성원건적종향응변량고우일반적력전감기,고유빈솔원고우상견적외부동태력빈솔,궤호불회발생공진현상;최후대미력전감기진행정태표정화오차분석.
