CAJ | 학술논문

真空镀膜技术是气相物理沉积方法，是指在真空条件下，将镀膜材料沉积在基体表面形成固体薄膜。本文分析了近年来已公开的真空镀膜的发明专利申请，对上述专利申请进行了技术分类，并对专利申请进行了技术分类，介绍了近年来真空镀膜行业内，为了满足用户对涂层和薄膜高性能化、功能化要求，应运而生的真空镀膜系统结构和真空镀膜方法及其控制原理、应用及优点。
진공도막기술시기상물리침적방법，시지재진공조건하，장도막재료침적재기체표면형성고체박막。본문분석료근년래이공개적진공도막적발명전리신청，대상술전리신청진행료기술분류，병대전리신청진행료기술분류，개소료근년래진공도막행업내，위료만족용호대도층화박막고성능화、공능화요구，응운이생적진공도막계통결구화진공도막방법급기공제원리、응용급우점。