电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2015年
2期
177-179
,共3页
扫描电镜%故障%维修
掃描電鏡%故障%維脩
소묘전경%고장%유수
SEM%malfunction%maintenance
日立S4800场发射扫描电子显微镜故障一例，故障现象是图像抖动，有明显噪声，故障出现的时间没有规律性，但图像抖动的方向有规律性。本文介绍了故障检查和处理方法，以供参考。
日立S4800場髮射掃描電子顯微鏡故障一例，故障現象是圖像抖動，有明顯譟聲，故障齣現的時間沒有規律性，但圖像抖動的方嚮有規律性。本文介紹瞭故障檢查和處理方法，以供參攷。
일립S4800장발사소묘전자현미경고장일례，고장현상시도상두동，유명현조성，고장출현적시간몰유규률성，단도상두동적방향유규률성。본문개소료고장검사화처리방법，이공삼고。
This paper introduced a malfunction maintenance experience of HITACHI S4800 SEM. The malfunction included image shaking with obvious noise, malfunction occurring at the irregularity time, and the image shaking in regular direction. This paper analyzed the processing method and gave a brief summary of the maintenance experience.
