电子制作
電子製作
전자제작
ELECTRONICS DIY
2015年
9期
67-68
,共2页
钟志白%冯岩%林泉%邱丽琴
鐘誌白%馮巖%林泉%邱麗琴
종지백%풍암%림천%구려금
氧化铟锡%磁控溅射%发光二极管%退火%气体流量
氧化銦錫%磁控濺射%髮光二極管%退火%氣體流量
양화인석%자공천사%발광이겁관%퇴화%기체류량
采用直流磁控溅射方法制备氧化铟锡（ITO）薄膜，分析快速退火中不同氮气流量表面形貌，分析ITO膜快速退火中不同氧气流量的XRD图谱，通入氧气0.3sccm的(222)晶面衍射峰最强。随着电流增加，退火时通氧气流量0.3sccm的ITO与外延层形成更好的欧姆接触，并且电流扩展最好，电压增加的幅度最小，制作到LED上亮度提高明显，器件的大电流驱动能力比较强。
採用直流磁控濺射方法製備氧化銦錫（ITO）薄膜，分析快速退火中不同氮氣流量錶麵形貌，分析ITO膜快速退火中不同氧氣流量的XRD圖譜，通入氧氣0.3sccm的(222)晶麵衍射峰最彊。隨著電流增加，退火時通氧氣流量0.3sccm的ITO與外延層形成更好的歐姆接觸，併且電流擴展最好，電壓增加的幅度最小，製作到LED上亮度提高明顯，器件的大電流驅動能力比較彊。
채용직류자공천사방법제비양화인석（ITO）박막，분석쾌속퇴화중불동담기류량표면형모，분석ITO막쾌속퇴화중불동양기류량적XRD도보，통입양기0.3sccm적(222)정면연사봉최강。수착전류증가，퇴화시통양기류량0.3sccm적ITO여외연층형성경호적구모접촉，병차전류확전최호，전압증가적폭도최소，제작도LED상량도제고명현，기건적대전류구동능력비교강。
