科技与创新
科技與創新
과기여창신
Science and Technology & Innovation
2015年
8期
157-157,160
,共2页
石英晶体谐振器%晶片腐蚀%谐振电阻%腐蚀方法
石英晶體諧振器%晶片腐蝕%諧振電阻%腐蝕方法
석영정체해진기%정편부식%해진전조%부식방법
quartz crystal resonator%wafers corrosion%resonance resistance%corrosion methods
晶片腐蚀是石英晶体谐振器生产过程中不可缺少的工序。采用不同的腐蚀工艺参数，例如腐蚀量大小、腐蚀液的温度、不同的腐蚀方法，均会对晶体谐振器参数产生不同的影响。简要介绍了石英晶片的腐蚀工序作用、主要参数和腐蚀工艺的步骤对晶体谐振器参数的影响。
晶片腐蝕是石英晶體諧振器生產過程中不可缺少的工序。採用不同的腐蝕工藝參數，例如腐蝕量大小、腐蝕液的溫度、不同的腐蝕方法，均會對晶體諧振器參數產生不同的影響。簡要介紹瞭石英晶片的腐蝕工序作用、主要參數和腐蝕工藝的步驟對晶體諧振器參數的影響。
정편부식시석영정체해진기생산과정중불가결소적공서。채용불동적부식공예삼수，례여부식량대소、부식액적온도、불동적부식방법，균회대정체해진기삼수산생불동적영향。간요개소료석영정편적부식공서작용、주요삼수화부식공예적보취대정체해진기삼수적영향。
Corrosion is a wafer production process quartz crystal resonator indispensable step. Etching processes using different parameters, such as the size of the etching amount, the temperature of the etching solution, various etching methods are crystal resonator parameters will produce different effects. Impact of the steps outlined quartz wafer etching process, the main parameters and corrosion processes of crystal resonator parameters.
