CAJ | 학술논문

目前微装配领域还没有可靠的亚微牛(sub-μN)分辨率的传感器。针对这一实际难题，设计了一个基于PVDF的微力传感器，使其能够提供高精度、高可靠性的微小力测量。首先基于压电效应和材料力学中悬臂梁结构，设计了PVDF传感器悬臂梁模型。其次由于PVDF产生的电荷很少且为sub-pc量级，设计了一个信号调理电路把电荷量转换为电压量。最后在New Focus公司生产的3D智能运动平台上进行实验，实验结果表明，所设计的PVDF传感器分辨力可以达到在sub-μN范围，从而为自动化生产过程中的批量制造和微装配中微接触力的反馈控制提供了理论上的解决方法。
목전미장배영역환몰유가고적아미우(sub-μN)분변솔적전감기。침대저일실제난제，설계료일개기우PVDF적미력전감기，사기능구제공고정도、고가고성적미소력측량。수선기우압전효응화재료역학중현비량결구，설계료PVDF전감기현비량모형。기차유우PVDF산생적전하흔소차위sub-pc량급，설계료일개신호조리전로파전하량전환위전압량。최후재New Focus공사생산적3D지능운동평태상진행실험，실험결과표명，소설계적PVDF전감기분변력가이체도재sub-μN범위，종이위자동화생산과정중적비량제조화미장배중미접촉력적반궤공제제공료이론상적해결방법。