光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
3期
745-752
,共8页
糜小涛%于宏柱%于海利%姚雪峰%宋楠%冯树龙%齐向东
糜小濤%于宏柱%于海利%姚雪峰%宋楠%馮樹龍%齊嚮東
미소도%우굉주%우해리%요설봉%송남%풍수룡%제향동
光栅刻划机%衍射光纤%双拉杆结构%单拉杆结构%石英导轨
光柵刻劃機%衍射光纖%雙拉桿結構%單拉桿結構%石英導軌
광책각화궤%연사광섬%쌍랍간결구%단랍간결구%석영도궤
grating ruling engine%diffraction optical fiber%double-rod structure%single-rod structure%quartz guide rail
由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构.讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况.基于材料力学弯曲变形理论,建立了石英导轨分度方向弯曲误差模型.在该模型的基础上仿真了双、单拉杆结构下刻划系统的石英导轨在分度方向上的弯曲变形误差.最后,使用双频激光干涉仪对石英导轨上的两个特征测量点进行了测量.测量结果显示:改进后的拉杆结构使得石英导轨在两特征测量点处的位移误差由50.36 nm降低到小于10 nm,满足大型衍射光栅刻划机刻划系统在分度方向上5～10 nm的精度指标要求.
由于大型衍射光柵刻劃機刻劃繫統的雙拉桿結構不能使其滿足精度指標要求,本文設計瞭一套單拉桿結構.討論瞭石英導軌分度方嚮彎麯誤差產生的原因及其減小該誤差的方法,分析和比較瞭兩種拉桿結構的鞍型滑塊的受力情況.基于材料力學彎麯變形理論,建立瞭石英導軌分度方嚮彎麯誤差模型.在該模型的基礎上倣真瞭雙、單拉桿結構下刻劃繫統的石英導軌在分度方嚮上的彎麯變形誤差.最後,使用雙頻激光榦涉儀對石英導軌上的兩箇特徵測量點進行瞭測量.測量結果顯示:改進後的拉桿結構使得石英導軌在兩特徵測量點處的位移誤差由50.36 nm降低到小于10 nm,滿足大型衍射光柵刻劃機刻劃繫統在分度方嚮上5～10 nm的精度指標要求.
유우대형연사광책각화궤각화계통적쌍랍간결구불능사기만족정도지표요구,본문설계료일투단랍간결구.토론료석영도궤분도방향만곡오차산생적원인급기감소해오차적방법,분석화비교료량충랍간결구적안형활괴적수력정황.기우재료역학만곡변형이론,건립료석영도궤분도방향만곡오차모형.재해모형적기출상방진료쌍、단랍간결구하각화계통적석영도궤재분도방향상적만곡변형오차.최후,사용쌍빈격광간섭의대석영도궤상적량개특정측량점진행료측량.측량결과현시:개진후적랍간결구사득석영도궤재량특정측량점처적위이오차유50.36 nm강저도소우10 nm,만족대형연사광책각화궤각화계통재분도방향상5～10 nm적정도지표요구.
