光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2015年
3期
700-707
,共8页
杜立群%鲍其雷%赵明%王翱岸
杜立群%鮑其雷%趙明%王翱岸
두립군%포기뢰%조명%왕고안
金属微光栅%高深宽比%UV-LIGA工艺%SU-8厚胶%微电铸
金屬微光柵%高深寬比%UV-LIGA工藝%SU-8厚膠%微電鑄
금속미광책%고심관비%UV-LIGA공예%SU-8후효%미전주
metal micro-grating%high aspect ratio%UV-LIGA technology%SU-8 thick photoresist%micro electroforming
根据光学领域对高深宽比金属微器件的需求,利用UV-LIGA工艺在金属基底上制作了具有高深宽比的金属微光栅.采用分层曝光、一次显影的方法制作了微电铸用SU-8胶厚胶胶模,解决了高深宽比厚胶胶模制作困难的问题.由于电铸时间长易导致铸层缺陷,故采取分次电铸等措施得到了电铸光栅结构;同时通过线宽补偿的方法解决了溶胀引起的线宽变小问题.在去胶工序中,采用“超声-浸泡-超声”循环往复的方法.最终,制作了周期为130 μm、凸台长宽高为900 μm×65 μm×243 μm的金属微光栅,其深宽比达到5,尺寸相对误差小于1％,表面粗糙度小于6.17 nm.本文提出的工艺方法克服了现有方法制作金属微光栅时高度有限、基底易碎等局限性,为在金属基底上制作高深宽比金属微光栅提供了一种可行的工艺参考方案.
根據光學領域對高深寬比金屬微器件的需求,利用UV-LIGA工藝在金屬基底上製作瞭具有高深寬比的金屬微光柵.採用分層曝光、一次顯影的方法製作瞭微電鑄用SU-8膠厚膠膠模,解決瞭高深寬比厚膠膠模製作睏難的問題.由于電鑄時間長易導緻鑄層缺陷,故採取分次電鑄等措施得到瞭電鑄光柵結構;同時通過線寬補償的方法解決瞭溶脹引起的線寬變小問題.在去膠工序中,採用“超聲-浸泡-超聲”循環往複的方法.最終,製作瞭週期為130 μm、凸檯長寬高為900 μm×65 μm×243 μm的金屬微光柵,其深寬比達到5,呎吋相對誤差小于1％,錶麵粗糙度小于6.17 nm.本文提齣的工藝方法剋服瞭現有方法製作金屬微光柵時高度有限、基底易碎等跼限性,為在金屬基底上製作高深寬比金屬微光柵提供瞭一種可行的工藝參攷方案.
근거광학영역대고심관비금속미기건적수구,이용UV-LIGA공예재금속기저상제작료구유고심관비적금속미광책.채용분층폭광、일차현영적방법제작료미전주용SU-8효후효효모,해결료고심관비후효효모제작곤난적문제.유우전주시간장역도치주층결함,고채취분차전주등조시득도료전주광책결구;동시통과선관보상적방법해결료용창인기적선관변소문제.재거효공서중,채용“초성-침포-초성”순배왕복적방법.최종,제작료주기위130 μm、철태장관고위900 μm×65 μm×243 μm적금속미광책,기심관비체도5,척촌상대오차소우1％,표면조조도소우6.17 nm.본문제출적공예방법극복료현유방법제작금속미광책시고도유한、기저역쇄등국한성,위재금속기저상제작고심관비금속미광책제공료일충가행적공예삼고방안.
