哈尔滨师范大学自然科学学报
哈爾濱師範大學自然科學學報
합이빈사범대학자연과학학보
NATURAL SCIENCES JOURNAL OF HARBIN NORMAL UNIVERSITY
2015年
2期
109-112
,共4页
王炫力%王金颖%袁浩然%姚成宝%孙文军
王炫力%王金穎%袁浩然%姚成寶%孫文軍
왕현력%왕금영%원호연%요성보%손문군
共溅射%MgxZn1-xO薄膜%退火%蓝移%带隙
共濺射%MgxZn1-xO薄膜%退火%藍移%帶隙
공천사%MgxZn1-xO박막%퇴화%람이%대극
利用共溅射技术制备了MgxZn1-xO薄膜样品,研究了Mg的掺杂浓度对其晶体结构、光学带隙的影响,退火环境与温度对其晶体结构、表面形貌的影响.通过对XRD图的分析表明,所制MgxZn1-xO薄膜样品为六角纤锌矿结构,且随着x值的增大,样品的晶格常数c逐渐减小;对比真空环境下,氧气中退火温度为500～600℃时更有利于提高样品的结晶质量.对吸收谱的分析表明随着Mg掺杂浓度增大,样品的吸收边向短波方向移动,带隙增大.
利用共濺射技術製備瞭MgxZn1-xO薄膜樣品,研究瞭Mg的摻雜濃度對其晶體結構、光學帶隙的影響,退火環境與溫度對其晶體結構、錶麵形貌的影響.通過對XRD圖的分析錶明,所製MgxZn1-xO薄膜樣品為六角纖鋅礦結構,且隨著x值的增大,樣品的晶格常數c逐漸減小;對比真空環境下,氧氣中退火溫度為500～600℃時更有利于提高樣品的結晶質量.對吸收譜的分析錶明隨著Mg摻雜濃度增大,樣品的吸收邊嚮短波方嚮移動,帶隙增大.
이용공천사기술제비료MgxZn1-xO박막양품,연구료Mg적참잡농도대기정체결구、광학대극적영향,퇴화배경여온도대기정체결구、표면형모적영향.통과대XRD도적분석표명,소제MgxZn1-xO박막양품위륙각섬자광결구,차수착x치적증대,양품적정격상수c축점감소;대비진공배경하,양기중퇴화온도위500～600℃시경유리우제고양품적결정질량.대흡수보적분석표명수착Mg참잡농도증대,양품적흡수변향단파방향이동,대극증대.
