哈尔滨师范大学自然科学学报
哈爾濱師範大學自然科學學報
합이빈사범대학자연과학학보
NATURAL SCIENCES JOURNAL OF HARBIN NORMAL UNIVERSITY
2015年
3期
83-86
,共4页
王金颖%王炫力%袁浩然%姚成宝%孙文军
王金穎%王炫力%袁浩然%姚成寶%孫文軍
왕금영%왕현력%원호연%요성보%손문군
磁控溅射%溅射压强%InN%光学带隙
磁控濺射%濺射壓彊%InN%光學帶隙
자공천사%천사압강%InN%광학대극
以金属铟为靶材,蓝宝石为衬底,氩和氮的混合气体为溅射气体,衬底温度为100℃,溅射功率为100 W,采用射频磁控溅射技术分别制备了溅射压强为0.8、1.0、1.4 Pa的InN薄膜.利用XRD、SEM分析薄膜样品呈六方纤锌矿结构.使用双光束紫外/可见分光光度计测量薄膜的吸收谱,计算得到在溅射压强为0.8、1.0、1.4 Pa下制得的薄膜样品带隙分别为1.825、1.74、1.82 eV.结果表明溅射压强为1.0 Pa时,带隙值最小,结晶质量最好.
以金屬銦為靶材,藍寶石為襯底,氬和氮的混閤氣體為濺射氣體,襯底溫度為100℃,濺射功率為100 W,採用射頻磁控濺射技術分彆製備瞭濺射壓彊為0.8、1.0、1.4 Pa的InN薄膜.利用XRD、SEM分析薄膜樣品呈六方纖鋅礦結構.使用雙光束紫外/可見分光光度計測量薄膜的吸收譜,計算得到在濺射壓彊為0.8、1.0、1.4 Pa下製得的薄膜樣品帶隙分彆為1.825、1.74、1.82 eV.結果錶明濺射壓彊為1.0 Pa時,帶隙值最小,結晶質量最好.
이금속인위파재,람보석위츤저,아화담적혼합기체위천사기체,츤저온도위100℃,천사공솔위100 W,채용사빈자공천사기술분별제비료천사압강위0.8、1.0、1.4 Pa적InN박막.이용XRD、SEM분석박막양품정륙방섬자광결구.사용쌍광속자외/가견분광광도계측량박막적흡수보,계산득도재천사압강위0.8、1.0、1.4 Pa하제득적박막양품대극분별위1.825、1.74、1.82 eV.결과표명천사압강위1.0 Pa시,대극치최소,결정질량최호.
