微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2015年
2期
4-6
,共3页
双极集成电路%欧姆接触%硅刻蚀%湿法腐蚀%工艺控制
雙極集成電路%歐姆接觸%硅刻蝕%濕法腐蝕%工藝控製
쌍겁집성전로%구모접촉%규각식%습법부식%공예공제
Biploar IC%Ohmic contact%Silicon etch%Wet etch%Process control
给出了一种解决双极集成电路在生产中欧姆接触偏大的问题，特别是双极集成电路P型接触偏大的问题解决方法。针对双极集成电路在批量生产过程中 P 型欧姆接触偏大的现象作了分析，并根据所积累的专业经验，在生产工艺过程中安排了过腐蚀、soft －etch，混酸腐蚀硅等专项实验，找到问题的原因和解决方法。通过长时间以及大批量生产实践的检验，这种方法对改善双极集成电路中 P 型接触电阻非常有效，因此对提高双极集成电路的工艺控制稳定性具有重要意义。
給齣瞭一種解決雙極集成電路在生產中歐姆接觸偏大的問題，特彆是雙極集成電路P型接觸偏大的問題解決方法。針對雙極集成電路在批量生產過程中 P 型歐姆接觸偏大的現象作瞭分析，併根據所積纍的專業經驗，在生產工藝過程中安排瞭過腐蝕、soft －etch，混痠腐蝕硅等專項實驗，找到問題的原因和解決方法。通過長時間以及大批量生產實踐的檢驗，這種方法對改善雙極集成電路中 P 型接觸電阻非常有效，因此對提高雙極集成電路的工藝控製穩定性具有重要意義。
급출료일충해결쌍겁집성전로재생산중구모접촉편대적문제，특별시쌍겁집성전로P형접촉편대적문제해결방법。침대쌍겁집성전로재비량생산과정중 P 형구모접촉편대적현상작료분석，병근거소적루적전업경험，재생산공예과정중안배료과부식、soft －etch，혼산부식규등전항실험，조도문제적원인화해결방법。통과장시간이급대비량생산실천적검험，저충방법대개선쌍겁집성전로중 P 형접촉전조비상유효，인차대제고쌍겁집성전로적공예공제은정성구유중요의의。
A solution for ohmic contact,especially higher type P contact during bipolar IC manufacturing,is given out in the article.The analysis,aiming at the higher type P ohm contact phenomenon in batching production,is conducted.Based on professional experience,some experiments such as over etching,soft -etching,mixing acid and so on are performed,and the reasons and solutions are found out at last.By long time and batching production proof -test,the result shows that it is effective and important to improve the process controlling stability in bipolar IC processing.
