四川师范大学学报（自然科学版）
四川師範大學學報（自然科學版）
사천사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2015年
2期
259-263
,共5页
王诗琴%宫云志%吕厚祥%刘贤超%郑杰%张涛%谢征微%陈卫东%李玲
王詩琴%宮雲誌%呂厚祥%劉賢超%鄭傑%張濤%謝徵微%陳衛東%李玲
왕시금%궁운지%려후상%류현초%정걸%장도%사정미%진위동%리령
金属平板超透镜%光栅掩模%成像质量
金屬平闆超透鏡%光柵掩模%成像質量
금속평판초투경%광책엄모%성상질량
metal superlens%grating mask%image quality
利用有限元法并结合射频磁控溅射法制备不同厚度Cr膜的透光率的研究,模拟了金属平板超透镜近场成像特性.研究了作为“物”的Cr光栅掩模厚度、占空比对超透镜成像质量的影响.研究结果表明:成像系统的对比度随光栅掩模厚度的增加而增大,当厚度大于50 nm,达到一个稳定值;在相同掩模厚度下,成像系统的像平面随着光栅线宽W的增加而变远;在相同厚度变化范围内,W越大,对比度的变化范围(△C)和像平面位置的变化范围(△y)也都越大,但前者变化更大.研究表明:Cr光栅掩模的厚度、占空比对成像质量有明显的影响.
利用有限元法併結閤射頻磁控濺射法製備不同厚度Cr膜的透光率的研究,模擬瞭金屬平闆超透鏡近場成像特性.研究瞭作為“物”的Cr光柵掩模厚度、佔空比對超透鏡成像質量的影響.研究結果錶明:成像繫統的對比度隨光柵掩模厚度的增加而增大,噹厚度大于50 nm,達到一箇穩定值;在相同掩模厚度下,成像繫統的像平麵隨著光柵線寬W的增加而變遠;在相同厚度變化範圍內,W越大,對比度的變化範圍(△C)和像平麵位置的變化範圍(△y)也都越大,但前者變化更大.研究錶明:Cr光柵掩模的厚度、佔空比對成像質量有明顯的影響.
이용유한원법병결합사빈자공천사법제비불동후도Cr막적투광솔적연구,모의료금속평판초투경근장성상특성.연구료작위“물”적Cr광책엄모후도、점공비대초투경성상질량적영향.연구결과표명:성상계통적대비도수광책엄모후도적증가이증대,당후도대우50 nm,체도일개은정치;재상동엄모후도하,성상계통적상평면수착광책선관W적증가이변원;재상동후도변화범위내,W월대,대비도적변화범위(△C)화상평면위치적변화범위(△y)야도월대,단전자변화경대.연구표명:Cr광책엄모적후도、점공비대성상질량유명현적영향.
