农家科技（下旬刊）
農傢科技（下旬刊）
농가과기（하순간）
NONGJIA KEJI
2015年
3期
210-210
,共1页
彭娜%张杨%杨翠柏%尧舜%陈升阳%王智勇
彭娜%張楊%楊翠柏%堯舜%陳升暘%王智勇
팽나%장양%양취백%요순%진승양%왕지용
薄膜光学%TiO2薄膜%电子束蒸镀%反射率
薄膜光學%TiO2薄膜%電子束蒸鍍%反射率
박막광학%TiO2박막%전자속증도%반사솔
TiO2具有高的折射率、低的吸收系数等特点，镀膜时真空腔体温度与离子源功率等因素对TiO2薄膜折射率分布规律有很大影响，本文用电子束蒸发法制备TiO2薄膜，并系统的探讨了蒸镀温度、离子源参数两个工艺参数对TiO2薄膜折射率波动方面的影响，得出一组蒸镀工艺参数，使TiO2折射率最高达到2．57。
TiO2具有高的摺射率、低的吸收繫數等特點，鍍膜時真空腔體溫度與離子源功率等因素對TiO2薄膜摺射率分佈規律有很大影響，本文用電子束蒸髮法製備TiO2薄膜，併繫統的探討瞭蒸鍍溫度、離子源參數兩箇工藝參數對TiO2薄膜摺射率波動方麵的影響，得齣一組蒸鍍工藝參數，使TiO2摺射率最高達到2．57。
TiO2구유고적절사솔、저적흡수계수등특점，도막시진공강체온도여리자원공솔등인소대TiO2박막절사솔분포규률유흔대영향，본문용전자속증발법제비TiO2박막，병계통적탐토료증도온도、리자원삼수량개공예삼수대TiO2박막절사솔파동방면적영향，득출일조증도공예삼수，사TiO2절사솔최고체도2．57。
