贵阳学院学报（自然科学版）
貴暘學院學報（自然科學版）
귀양학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF GUIYANG COLLEGE(NATURAL SCIENCES)
2015年
1期
27-30
,共4页
Ba5Si3薄膜%反应沉积外延%真空退火%第一性原理%电子结构
Ba5Si3薄膜%反應沉積外延%真空退火%第一性原理%電子結構
Ba5Si3박막%반응침적외연%진공퇴화%제일성원리%전자결구
采用反应沉积外延法在723K的Si (111)衬底上共沉积了的Ba/Si混合膜,通过时间控制得到不同厚度的混合膜,然后真空退火处理.X射线衍射表明在真空中1073K退火12小时后出现了单一的Ba5 Si3薄膜.采用第一性原理对Ba5 Si3的能带结构进行了计算,带隙宽度为0 eV,表现为金属性质.
採用反應沉積外延法在723K的Si (111)襯底上共沉積瞭的Ba/Si混閤膜,通過時間控製得到不同厚度的混閤膜,然後真空退火處理.X射線衍射錶明在真空中1073K退火12小時後齣現瞭單一的Ba5 Si3薄膜.採用第一性原理對Ba5 Si3的能帶結構進行瞭計算,帶隙寬度為0 eV,錶現為金屬性質.
채용반응침적외연법재723K적Si (111)츤저상공침적료적Ba/Si혼합막,통과시간공제득도불동후도적혼합막,연후진공퇴화처리.X사선연사표명재진공중1073K퇴화12소시후출현료단일적Ba5 Si3박막.채용제일성원리대Ba5 Si3적능대결구진행료계산,대극관도위0 eV,표현위금속성질.
