硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2015年
4期
451-457
,共7页
彭寿%金良茂%王芸%汤永康%甘治平%王东%石丽芬%单传丽
彭壽%金良茂%王蕓%湯永康%甘治平%王東%石麗芬%單傳麗
팽수%금량무%왕예%탕영강%감치평%왕동%석려분%단전려
铝掺杂氧化锌薄膜%热处理%光电性能%溶胶-凝胶法
鋁摻雜氧化鋅薄膜%熱處理%光電性能%溶膠-凝膠法
려참잡양화자박막%열처리%광전성능%용효-응효법
aluminum doped zinc oxide films%heat treatment%electro-optical property%sol-gel method
采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出ZnO∶Al(AZO)薄膜.通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、方块电阻测试仪、Hall效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计研究了薄膜物相、微观结构、光电性能;分析了不同热处理方式对于薄膜光电性能的影响.结果表明:经10次提拉所制备薄膜可见光透过率85％左右.热处理工艺的选择对于提升AZO薄膜的电学性能至关重要,相比于空气气氛和真空下的热处理,采用具有还原性的5％ H2和95％N2的混合气氛热处理得到了具有最好电学性能的AZO薄膜.在550℃还原气氛下保温60 min得到薄膜方块电阻约为300 Ω/□,电阻率约为3.3×10-3Ω·cm.
採用溶膠-凝膠法以提拉的方式在普通玻璃基底上製備齣ZnO∶Al(AZO)薄膜.通過X射線衍射儀、場髮射掃描電子顯微鏡、方塊電阻測試儀、Hall效應測試儀、紫外-可見-紅外分光光度計研究瞭薄膜物相、微觀結構、光電性能;分析瞭不同熱處理方式對于薄膜光電性能的影響.結果錶明:經10次提拉所製備薄膜可見光透過率85％左右.熱處理工藝的選擇對于提升AZO薄膜的電學性能至關重要,相比于空氣氣氛和真空下的熱處理,採用具有還原性的5％ H2和95％N2的混閤氣氛熱處理得到瞭具有最好電學性能的AZO薄膜.在550℃還原氣氛下保溫60 min得到薄膜方塊電阻約為300 Ω/□,電阻率約為3.3×10-3Ω·cm.
채용용효-응효법이제랍적방식재보통파리기저상제비출ZnO∶Al(AZO)박막.통과X사선연사의、장발사소묘전자현미경、방괴전조측시의、Hall효응측시의、자외-가견-홍외분광광도계연구료박막물상、미관결구、광전성능;분석료불동열처리방식대우박막광전성능적영향.결과표명:경10차제랍소제비박막가견광투과솔85％좌우.열처리공예적선택대우제승AZO박막적전학성능지관중요,상비우공기기분화진공하적열처리,채용구유환원성적5％ H2화95％N2적혼합기분열처리득도료구유최호전학성능적AZO박막.재550℃환원기분하보온60 min득도박막방괴전조약위300 Ω/□,전조솔약위3.3×10-3Ω·cm.
