广东化工
廣東化工
엄동화공
GUANGDONG CHEMICAL INDUSTRY
2015年
6期
31-32
,共2页
乙硅烷%硅烷%太阳能电池%气相色谱仪
乙硅烷%硅烷%太暘能電池%氣相色譜儀
을규완%규완%태양능전지%기상색보의
乙硅烷是一种主要用于太阳能电池生产的电子气体,与硅烷相比具有沉积速率快、沉积温度低的优点.本实验采用卤代乙硅烷还原法制得了一定量的乙硅烷,并优化了反应装置连接线路.通过采用GC9560氦离子化气相色谱仪分析检测,本实验验证了反应物的添加顺序及反应物的添加比例对所得产物产率的影响.
乙硅烷是一種主要用于太暘能電池生產的電子氣體,與硅烷相比具有沉積速率快、沉積溫度低的優點.本實驗採用滷代乙硅烷還原法製得瞭一定量的乙硅烷,併優化瞭反應裝置連接線路.通過採用GC9560氦離子化氣相色譜儀分析檢測,本實驗驗證瞭反應物的添加順序及反應物的添加比例對所得產物產率的影響.
을규완시일충주요용우태양능전지생산적전자기체,여규완상비구유침적속솔쾌、침적온도저적우점.본실험채용서대을규완환원법제득료일정량적을규완,병우화료반응장치련접선로.통과채용GC9560양리자화기상색보의분석검측,본실험험증료반응물적첨가순서급반응물적첨가비례대소득산물산솔적영향.
