电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2015年
4期
30-35
,共6页
双面光刻机%运动控制%PID 控制
雙麵光刻機%運動控製%PID 控製
쌍면광각궤%운동공제%PID 공제
Double-sided maskaligner%Motion control%PID control
针对双面光刻机运动控制需求，提出模块化的设计方案，重点分析了对准工作台PID 调节方法，实现了高动态响应、高精度运动控制。
針對雙麵光刻機運動控製需求，提齣模塊化的設計方案，重點分析瞭對準工作檯PID 調節方法，實現瞭高動態響應、高精度運動控製。
침대쌍면광각궤운동공제수구，제출모괴화적설계방안，중점분석료대준공작태PID 조절방법，실현료고동태향응、고정도운동공제。
According to the movement of the double-sided Maskaligner machine control requirements, This paper presents a design scheme of modular. It analyzes majorly PID adjustment methods of alignmentw orkbench so thathigh dynamic response and high precision motion controlare realized.
