CAJ | 학술논문

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通讯世界 통신세계
TELECOM WORLD
2015年 4期 207-207 ,共1页

武金亮%周琦%高晓宇%胡梦晴%秦东林

무금량%주기%고효우%호몽청%진동림

微电子机械系统(MEMS)%传感器%应用微電子機械繫統(MEMS)%傳感器%應用
미전자궤계계통(MEMS)%전감기%응용

随着我国科技的不断进步，MEMS传感发展迅猛，在各个领域内得到广泛应用。再次情况下，本文阐述了MEMS技术的特点，分析了其在各领域内的具体应用情况，并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。
수착아국과기적불단진보，MEMS전감발전신맹，재각개영역내득도엄범응용。재차정황하，본문천술료MEMS기술적특점，분석료기재각영역내적구체응용정황，병대MEMS전감기적발전추세진행료전망。