清洗世界
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청세세계
CHEMICAL CLEANING
2015年
4期
31-34,43
,共5页
光学滤光片%镀膜%清洗%超声波%汽相
光學濾光片%鍍膜%清洗%超聲波%汽相
광학려광편%도막%청세%초성파%기상
对于镀膜工序来说,基底的清洗是必不可少的一个环节,基底清洁程度是影响镀膜产品质量的关键因素之一,保障元件镀膜前表面高洁净度,降低薄膜内的杂质污染物,镀膜前的洁净清洗至关重要.综述光学滤光片镀膜前常用的基片清洗方法,包括擦拭清洗、超声波清洗、汽相清洗和离子束清洗方法,阐述光学滤光片镀膜前基片清洗工艺和其他清洗技术一样,主要朝绿色环保、全自动、高效、低成本的趋势发展.
對于鍍膜工序來說,基底的清洗是必不可少的一箇環節,基底清潔程度是影響鍍膜產品質量的關鍵因素之一,保障元件鍍膜前錶麵高潔淨度,降低薄膜內的雜質汙染物,鍍膜前的潔淨清洗至關重要.綜述光學濾光片鍍膜前常用的基片清洗方法,包括抆拭清洗、超聲波清洗、汽相清洗和離子束清洗方法,闡述光學濾光片鍍膜前基片清洗工藝和其他清洗技術一樣,主要朝綠色環保、全自動、高效、低成本的趨勢髮展.
대우도막공서래설,기저적청세시필불가소적일개배절,기저청길정도시영향도막산품질량적관건인소지일,보장원건도막전표면고길정도,강저박막내적잡질오염물,도막전적길정청세지관중요.종술광학려광편도막전상용적기편청세방법,포괄찰식청세、초성파청세、기상청세화리자속청세방법,천술광학려광편도막전기편청세공예화기타청세기술일양,주요조록색배보、전자동、고효、저성본적추세발전.
