压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2015年
2期
193-196
,共4页
陈桂%谢晓%王文%何世堂
陳桂%謝曉%王文%何世堂
진계%사효%왕문%하세당
乐甫波%SU-8%频率温度系数%ST-90°X石英%波导层厚度
樂甫波%SU-8%頻率溫度繫數%ST-90°X石英%波導層厚度
악보파%SU-8%빈솔온도계수%ST-90°X석영%파도층후도
Love wave%SU-8%temperature coefficient of frequency(TCF)%ST-90°X quartz%thickness of guiding layer
研究了基于ST-90°X石英基片和SU-8波导层的乐甫波器件的温度特性.采用电极宽度控制单向单相(EWC/SPUDT)结构和铝电极,设计制作了具有单一模式控制功能和低插入损耗的150 MHz剪切型声表面波(SH-SAW)延迟线器件,并在其表面涂覆不同膜厚的SU-8声波导层构成系列乐甫波器件.由于SU-8波导层与石英基片温度系数的相反极性特性,SU-8膜厚直接影响到了乐甫波器件的温度特性.实验发现,覆盖不同膜厚的SU-8的乐甫波器件的中心频率随温度呈非线性变化,且在60～80℃内,SU-8膜厚为0.95 μm时,其频率温度系数约为0.830×10-6/℃.
研究瞭基于ST-90°X石英基片和SU-8波導層的樂甫波器件的溫度特性.採用電極寬度控製單嚮單相(EWC/SPUDT)結構和鋁電極,設計製作瞭具有單一模式控製功能和低插入損耗的150 MHz剪切型聲錶麵波(SH-SAW)延遲線器件,併在其錶麵塗覆不同膜厚的SU-8聲波導層構成繫列樂甫波器件.由于SU-8波導層與石英基片溫度繫數的相反極性特性,SU-8膜厚直接影響到瞭樂甫波器件的溫度特性.實驗髮現,覆蓋不同膜厚的SU-8的樂甫波器件的中心頻率隨溫度呈非線性變化,且在60～80℃內,SU-8膜厚為0.95 μm時,其頻率溫度繫數約為0.830×10-6/℃.
연구료기우ST-90°X석영기편화SU-8파도층적악보파기건적온도특성.채용전겁관도공제단향단상(EWC/SPUDT)결구화려전겁,설계제작료구유단일모식공제공능화저삽입손모적150 MHz전절형성표면파(SH-SAW)연지선기건,병재기표면도복불동막후적SU-8성파도층구성계렬악보파기건.유우SU-8파도층여석영기편온도계수적상반겁성특성,SU-8막후직접영향도료악보파기건적온도특성.실험발현,복개불동막후적SU-8적악보파기건적중심빈솔수온도정비선성변화,차재60～80℃내,SU-8막후위0.95 μm시,기빈솔온도계수약위0.830×10-6/℃.
