压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2015年
2期
187-192,196
,共7页
高杨%何婉婧%李君儒%黄振华%蔡洵
高楊%何婉婧%李君儒%黃振華%蔡洵
고양%하완청%리군유%황진화%채순
薄膜体声波谐振器%传感器%换能器%微机电系统(MEMS)%读出电路%六端口反射计
薄膜體聲波諧振器%傳感器%換能器%微機電繫統(MEMS)%讀齣電路%六耑口反射計
박막체성파해진기%전감기%환능기%미궤전계통(MEMS)%독출전로%륙단구반사계
film bulk acoustic resonator(FBAR)%sensor%transducer%MEMS%read-out circuit%six-port reflectometer
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术.基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质量探测器,与采用其他微电子机械系统的同类传感器相比,已取得了更好的传感性能.该文综述了FBAR传感器的进展,特别是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频读出电路;提出了采用六端口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成电路或低温共烧陶瓷工艺制备的六端口网络构建集成FBAR传感器的原创设想.
薄膜體聲波諧振器(FBAR)具有高靈敏度、高工作頻率,低功耗,小呎吋及製造工藝IC兼容的特點,使其成為高效能換能器和傳感器的理想技術.基于FBAR的傳感器,如高靈敏度質量傳感器、DNA和蛋白質探測器、氣體傳感器、水銀離子探測器和微區質量探測器,與採用其他微電子機械繫統的同類傳感器相比,已取得瞭更好的傳感性能.該文綜述瞭FBAR傳感器的進展,特彆是FBAR高靈敏度傳感器、FBAR諧振式傳感器及其高頻讀齣電路;提齣瞭採用六耑口反射計實現FBAR換能器的射頻頻率偏移信號讀齣、基于單片微波集成電路或低溫共燒陶瓷工藝製備的六耑口網絡構建集成FBAR傳感器的原創設想.
박막체성파해진기(FBAR)구유고령민도、고공작빈솔,저공모,소척촌급제조공예IC겸용적특점,사기성위고효능환능기화전감기적이상기술.기우FBAR적전감기,여고령민도질량전감기、DNA화단백질탐측기、기체전감기、수은리자탐측기화미구질량탐측기,여채용기타미전자궤계계통적동류전감기상비,이취득료경호적전감성능.해문종술료FBAR전감기적진전,특별시FBAR고령민도전감기、FBAR해진식전감기급기고빈독출전로;제출료채용륙단구반사계실현FBAR환능기적사빈빈솔편이신호독출、기우단편미파집성전로혹저온공소도자공예제비적륙단구망락구건집성FBAR전감기적원창설상.
