制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2015年
4期
56-60
,共5页
硅微球轴承%有限元%接触力学%MEMS
硅微毬軸承%有限元%接觸力學%MEMS
규미구축승%유한원%접촉역학%MEMS
silicon micro-ball bearing%finite element%contact mechanics%MEMS
利用有限元分析软件Abaqus建立了硅微球轴承的有限元模型,采用有限单元法(FEM)对微球与硅滚道的接触问题进行数值求解.考察了微球的不同尺寸和材料对硅微球轴承滚道接触应力的影响.结果表明:随着微球尺寸的增大,滚道表面最大接触压力和滚道内最大Mises应力均减小;随着微球公转速度的增大,微球材料密度对滚道侧壁表面接触压力和侧壁内Mises应力有显著的影响.该研究将为MEMS旋转机械中硅微球轴承的设计提供理论依据.
利用有限元分析軟件Abaqus建立瞭硅微毬軸承的有限元模型,採用有限單元法(FEM)對微毬與硅滾道的接觸問題進行數值求解.攷察瞭微毬的不同呎吋和材料對硅微毬軸承滾道接觸應力的影響.結果錶明:隨著微毬呎吋的增大,滾道錶麵最大接觸壓力和滾道內最大Mises應力均減小;隨著微毬公轉速度的增大,微毬材料密度對滾道側壁錶麵接觸壓力和側壁內Mises應力有顯著的影響.該研究將為MEMS鏇轉機械中硅微毬軸承的設計提供理論依據.
이용유한원분석연건Abaqus건립료규미구축승적유한원모형,채용유한단원법(FEM)대미구여규곤도적접촉문제진행수치구해.고찰료미구적불동척촌화재료대규미구축승곤도접촉응력적영향.결과표명:수착미구척촌적증대,곤도표면최대접촉압력화곤도내최대Mises응력균감소;수착미구공전속도적증대,미구재료밀도대곤도측벽표면접촉압력화측벽내Mises응력유현저적영향.해연구장위MEMS선전궤계중규미구축승적설계제공이론의거.
