导航定位与授时
導航定位與授時
도항정위여수시
Navigation Positioning and Timing
2015年
2期
46-53
,共8页
于怀勇%吴衍记%雷明%李宗利
于懷勇%吳衍記%雷明%李宗利
우부용%오연기%뢰명%리종리
集成光学%硅基波导谐振腔%多光束干涉%实验研究
集成光學%硅基波導諧振腔%多光束榦涉%實驗研究
집성광학%규기파도해진강%다광속간섭%실험연구
给出了硅基二氧化硅波导谐振腔的整体设计结构和谐振腔的传递函数及考虑光源线宽情况下特征参数的数学表达式.仿真分析了耦合器分光比、波导传输损耗、谐振腔腔长、激光器谱宽对谐振腔特性的影响.研究了硅基二氧化硅波导的加工工艺并针对其关键因素——光刻工艺实验验证了其曝光时间与显影对波导芯片的影响.最后对比了实验测试结果与理论仿真谐振曲线,吻合度良好.
給齣瞭硅基二氧化硅波導諧振腔的整體設計結構和諧振腔的傳遞函數及攷慮光源線寬情況下特徵參數的數學錶達式.倣真分析瞭耦閤器分光比、波導傳輸損耗、諧振腔腔長、激光器譜寬對諧振腔特性的影響.研究瞭硅基二氧化硅波導的加工工藝併針對其關鍵因素——光刻工藝實驗驗證瞭其曝光時間與顯影對波導芯片的影響.最後對比瞭實驗測試結果與理論倣真諧振麯線,吻閤度良好.
급출료규기이양화규파도해진강적정체설계결구화해진강적전체함수급고필광원선관정황하특정삼수적수학표체식.방진분석료우합기분광비、파도전수손모、해진강강장、격광기보관대해진강특성적영향.연구료규기이양화규파도적가공공예병침대기관건인소——광각공예실험험증료기폭광시간여현영대파도심편적영향.최후대비료실험측시결과여이론방진해진곡선,문합도량호.
