浙江大学学报（工学版）
浙江大學學報（工學版）
절강대학학보（공학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2015年
4期
749-753,781
,共6页
电涡流位移传感器%高温环境%调制电路%灵敏度补偿%电压基值补偿
電渦流位移傳感器%高溫環境%調製電路%靈敏度補償%電壓基值補償
전와류위이전감기%고온배경%조제전로%령민도보상%전압기치보상
eddy current displacement sensor%high temperature environment%modulation circuit%sensitivity compensation%bias voltage adjustment
介绍能够工作于20～500℃高温环境下的电涡流位移传感器。通过对传感器探头材料的选择与结构的改进，使传感器探头能够适应环境温度的剧烈变化；利用恒频调幅电路与峰值检测电路，完成位移信号至电压信号的基本转换；通过在传感器输出级加入温度补偿电路，分别针对灵敏度与电压基值进行补偿，实现了对温度影响的有效抑制。在设计的实验硬件系统中对传感器的输出特性进行测量，实验结果验证了该电涡流位移传感器在20～500℃的温度环境内具有良好的灵敏度与线性度，并且具有有效的温漂抑制特性。
介紹能夠工作于20～500℃高溫環境下的電渦流位移傳感器。通過對傳感器探頭材料的選擇與結構的改進，使傳感器探頭能夠適應環境溫度的劇烈變化；利用恆頻調幅電路與峰值檢測電路，完成位移信號至電壓信號的基本轉換；通過在傳感器輸齣級加入溫度補償電路，分彆針對靈敏度與電壓基值進行補償，實現瞭對溫度影響的有效抑製。在設計的實驗硬件繫統中對傳感器的輸齣特性進行測量，實驗結果驗證瞭該電渦流位移傳感器在20～500℃的溫度環境內具有良好的靈敏度與線性度，併且具有有效的溫漂抑製特性。
개소능구공작우20～500℃고온배경하적전와류위이전감기。통과대전감기탐두재료적선택여결구적개진，사전감기탐두능구괄응배경온도적극렬변화；이용항빈조폭전로여봉치검측전로，완성위이신호지전압신호적기본전환；통과재전감기수출급가입온도보상전로，분별침대령민도여전압기치진행보상，실현료대온도영향적유효억제。재설계적실험경건계통중대전감기적수출특성진행측량，실험결과험증료해전와류위이전감기재20～500℃적온도배경내구유량호적령민도여선성도，병차구유유효적온표억제특성。
A novel high‐temperature eddy current displacement sensor operating from 20 ℃ to 500 ℃ was introduced .The application of new materials and structure improvement of the sensor probe promised the adaptation of sensor probe to severe temperature variation . T he convention of detected displacement to electric signal was completed by frequency modulation circuit and peak detection circuit .The temperature drift ,consisting of output sensitivity and bias voltage ,was eliminated by a temperature‐compensation circuit added in the output stage of the sensor . Experimental results verified that the designed high‐temperature eddy current displacement sensor had good output sensitivity and linearity within temperature variation from 20 ℃ to 500 ℃ ,with effective temperature drift eliminating properties .
