强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2015年
4期
238-241
,共4页
邓德荣%张海旸%闫陇刚%张浩
鄧德榮%張海旸%閆隴剛%張浩
산덕영%장해양%염롱강%장호
摇摆器%磁场测量系统%气浮平台%霍尔探头%控制系统
搖襬器%磁場測量繫統%氣浮平檯%霍爾探頭%控製繫統
요파기%자장측량계통%기부평태%곽이탐두%공제계통
wiggler%magnetic measurement system%air-thrust bearings%Hall probe%control system
根据理论分析及实际加工水平,设计了一套摇摆器磁场测量系统,同时对影响磁测系统整体性能的主要参数进行了详尽分析.摇摆器磁测装置主要由气浮运动平台、测磁设备及控制系统组成,其主要功能是对霍尔探头的位置与磁场数据进行高精度测量及同步采集.主要参数如下:z向定位精度小于5μm,重复定位精度小于2μm;霍尔探头的测量精度为0.05%,重复测量精度为0.01%,响应频率为1 kHz;数据采集卡的采样率不小于1000.
根據理論分析及實際加工水平,設計瞭一套搖襬器磁場測量繫統,同時對影響磁測繫統整體性能的主要參數進行瞭詳儘分析.搖襬器磁測裝置主要由氣浮運動平檯、測磁設備及控製繫統組成,其主要功能是對霍爾探頭的位置與磁場數據進行高精度測量及同步採集.主要參數如下:z嚮定位精度小于5μm,重複定位精度小于2μm;霍爾探頭的測量精度為0.05%,重複測量精度為0.01%,響應頻率為1 kHz;數據採集卡的採樣率不小于1000.
근거이론분석급실제가공수평,설계료일투요파기자장측량계통,동시대영향자측계통정체성능적주요삼수진행료상진분석.요파기자측장치주요유기부운동평태、측자설비급공제계통조성,기주요공능시대곽이탐두적위치여자장수거진행고정도측량급동보채집.주요삼수여하:z향정위정도소우5μm,중복정위정도소우2μm;곽이탐두적측량정도위0.05%,중복측량정도위0.01%,향응빈솔위1 kHz;수거채집잡적채양솔불소우1000.