中国仪器仪表
中國儀器儀錶
중국의기의표
CHINA INSTRUMENTATION
2015年
2期
60-64
,共5页
吴春艳%陆亦工%高长水%刘少学
吳春豔%陸亦工%高長水%劉少學
오춘염%륙역공%고장수%류소학
半导体锗放电加工%表面钝化%研究
半導體鍺放電加工%錶麵鈍化%研究
반도체타방전가공%표면둔화%연구
实验模拟锗晶体电火花线切割加工过程,提出“钝化膜”这个概念.通过理论分析、观察实验现象、运用XRD技术分析新生成物质,确定这种新生成的物质为电解的锗离子与氢氧根离子反应生成的半导体氧化物.针对锗的钝化,提出两种钝化预防与消除方法,通过实验比较,确定“涂抹法”是预防钝化的有效措施.利用这种方法进行了实验验证与实际加工,与原来的加工方法进行实验对比,发现切割效率、稳定性得到很大的提高与改善.
實驗模擬鍺晶體電火花線切割加工過程,提齣“鈍化膜”這箇概唸.通過理論分析、觀察實驗現象、運用XRD技術分析新生成物質,確定這種新生成的物質為電解的鍺離子與氫氧根離子反應生成的半導體氧化物.針對鍺的鈍化,提齣兩種鈍化預防與消除方法,通過實驗比較,確定“塗抹法”是預防鈍化的有效措施.利用這種方法進行瞭實驗驗證與實際加工,與原來的加工方法進行實驗對比,髮現切割效率、穩定性得到很大的提高與改善.
실험모의타정체전화화선절할가공과정,제출“둔화막”저개개념.통과이론분석、관찰실험현상、운용XRD기술분석신생성물질,학정저충신생성적물질위전해적타리자여경양근리자반응생성적반도체양화물.침대타적둔화,제출량충둔화예방여소제방법,통과실험비교,학정“도말법”시예방둔화적유효조시.이용저충방법진행료실험험증여실제가공,여원래적가공방법진행실험대비,발현절할효솔、은정성득도흔대적제고여개선.
