科技展望
科技展望
과기전망
KEJI ZHANWANG
2015年
6期
138-138
,共1页
肖兵兵%王奇帅%赵鹏辉%罗坤
肖兵兵%王奇帥%趙鵬輝%囉坤
초병병%왕기수%조붕휘%라곤
压力传感器%谐振%硅微结构
壓力傳感器%諧振%硅微結構
압력전감기%해진%규미결구
谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压力传感器的相关研究进行综述，简介其原理与类别，具体分析两种不同芯体的传感器的研究概况，并对芯体不同传感器的激励方式和检测方式进行对比，分析各自的特点，最后展望谐振式硅微结构压力传感器的发展前景。
諧振式硅微結構壓力傳感器以其高精度和高穩定性成為多領域測試壓力時的首選傳感器。本文對近三十年間國內國外對諧振式硅微結構壓力傳感器的相關研究進行綜述，簡介其原理與類彆，具體分析兩種不同芯體的傳感器的研究概況，併對芯體不同傳感器的激勵方式和檢測方式進行對比，分析各自的特點，最後展望諧振式硅微結構壓力傳感器的髮展前景。
해진식규미결구압력전감기이기고정도화고은정성성위다영역측시압력시적수선전감기。본문대근삼십년간국내국외대해진식규미결구압력전감기적상관연구진행종술，간개기원리여유별，구체분석량충불동심체적전감기적연구개황，병대심체불동전감기적격려방식화검측방식진행대비，분석각자적특점，최후전망해진식규미결구압력전감기적발전전경。
