光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2015年
1期
4-8
,共5页
斐索干涉仪%干涉图%平面面形检测%ASTM方法
斐索榦涉儀%榦涉圖%平麵麵形檢測%ASTM方法
비색간섭의%간섭도%평면면형검측%ASTM방법
Fizeau interferometer%interference fringes%plane surface measurement%American Society for Testing and Materials (ASTM) method
为分析光学平面面形偏差,以直径100 mm光学平晶为检测对象,利用斐索干涉仪采集了被测光学平面的波面干涉图,按照美国材料与试验协会(American Society for Testing and Materials,ASTM)标准方法,通过分析,能够定性反映出被测光学平面的面形偏差.计算并分析了波面偏差指标峰谷值PV和均方根值RMS,将计算结果与利用ZYGO斐索干涉仪测得的数据对比,偏差为10-3λ,符合光学检测要求.综合考虑可操作性和计算精度,这种基于ASTM的方法是一种行之有效的光学检测分析方法.
為分析光學平麵麵形偏差,以直徑100 mm光學平晶為檢測對象,利用斐索榦涉儀採集瞭被測光學平麵的波麵榦涉圖,按照美國材料與試驗協會(American Society for Testing and Materials,ASTM)標準方法,通過分析,能夠定性反映齣被測光學平麵的麵形偏差.計算併分析瞭波麵偏差指標峰穀值PV和均方根值RMS,將計算結果與利用ZYGO斐索榦涉儀測得的數據對比,偏差為10-3λ,符閤光學檢測要求.綜閤攷慮可操作性和計算精度,這種基于ASTM的方法是一種行之有效的光學檢測分析方法.
위분석광학평면면형편차,이직경100 mm광학평정위검측대상,이용비색간섭의채집료피측광학평면적파면간섭도,안조미국재료여시험협회(American Society for Testing and Materials,ASTM)표준방법,통과분석,능구정성반영출피측광학평면적면형편차.계산병분석료파면편차지표봉곡치PV화균방근치RMS,장계산결과여이용ZYGO비색간섭의측득적수거대비,편차위10-3λ,부합광학검측요구.종합고필가조작성화계산정도,저충기우ASTM적방법시일충행지유효적광학검측분석방법.
