天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2015年
2期
37-41
,共5页
高倩%黄美东%王小龙%张建鹏%王萌萌%陈泽昊%王宇
高倩%黃美東%王小龍%張建鵬%王萌萌%陳澤昊%王宇
고천%황미동%왕소룡%장건붕%왕맹맹%진택호%왕우
ZnO∶Ti薄膜%磁控溅射%光电性能%氧氩比
ZnO∶Ti薄膜%磁控濺射%光電性能%氧氬比
ZnO∶Ti박막%자공천사%광전성능%양아비
为优化ZnO∶Ti复合薄膜制备工艺,采用射频磁控溅射法在不同氧氩比条件下沉积ZnO∶Ti复合薄膜,得到的样品经由EDS能谱仪检测Ti掺杂质量分数为3％.分别利用台阶仪、扫描电子显微镜、X线衍射仪、分光光度计和霍尔效应仪对样品的沉积速率、微观结构和光电性能进行表征.结果表明:随着氧氩比逐渐增大,薄膜的沉积速率呈现先增加后减小的变化.所有ZnO∶Ti薄膜均为六角纤锌矿结构,具有(002)晶面择优取向;当氧氩比为1∶1时,薄膜样品的表面形貌和结构优于其他样品.经过在空气中500℃的退火处理,薄膜样品的结晶质量明显提高.所有ZnO∶Ti薄膜在可见光区透过率均大于90％.随着氧氩比的增加,薄膜样品的电阻率先减小后增加,当氧氩比为1∶1时,电阻率最小,为6.5×10-4 Ω·cm,薄膜的综合性能达到最优.
為優化ZnO∶Ti複閤薄膜製備工藝,採用射頻磁控濺射法在不同氧氬比條件下沉積ZnO∶Ti複閤薄膜,得到的樣品經由EDS能譜儀檢測Ti摻雜質量分數為3％.分彆利用檯階儀、掃描電子顯微鏡、X線衍射儀、分光光度計和霍爾效應儀對樣品的沉積速率、微觀結構和光電性能進行錶徵.結果錶明:隨著氧氬比逐漸增大,薄膜的沉積速率呈現先增加後減小的變化.所有ZnO∶Ti薄膜均為六角纖鋅礦結構,具有(002)晶麵擇優取嚮;噹氧氬比為1∶1時,薄膜樣品的錶麵形貌和結構優于其他樣品.經過在空氣中500℃的退火處理,薄膜樣品的結晶質量明顯提高.所有ZnO∶Ti薄膜在可見光區透過率均大于90％.隨著氧氬比的增加,薄膜樣品的電阻率先減小後增加,噹氧氬比為1∶1時,電阻率最小,為6.5×10-4 Ω·cm,薄膜的綜閤性能達到最優.
위우화ZnO∶Ti복합박막제비공예,채용사빈자공천사법재불동양아비조건하침적ZnO∶Ti복합박막,득도적양품경유EDS능보의검측Ti참잡질량분수위3％.분별이용태계의、소묘전자현미경、X선연사의、분광광도계화곽이효응의대양품적침적속솔、미관결구화광전성능진행표정.결과표명:수착양아비축점증대,박막적침적속솔정현선증가후감소적변화.소유ZnO∶Ti박막균위륙각섬자광결구,구유(002)정면택우취향;당양아비위1∶1시,박막양품적표면형모화결구우우기타양품.경과재공기중500℃적퇴화처리,박막양품적결정질량명현제고.소유ZnO∶Ti박막재가견광구투과솔균대우90％.수착양아비적증가,박막양품적전조솔선감소후증가,당양아비위1∶1시,전조솔최소,위6.5×10-4 Ω·cm,박막적종합성능체도최우.
