山东师范大学学报(自然科学版)
山東師範大學學報(自然科學版)
산동사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SHANGOND NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2015年
2期
55-58
,共4页
各向同性随机表面%等垂直波矢%光散射轮廓%粗糙指数
各嚮同性隨機錶麵%等垂直波矢%光散射輪廓%粗糙指數
각향동성수궤표면%등수직파시%광산사륜곽%조조지수
isotropic random surface%constant perpendicular wave vectors%diffused intensity profiles%roughness exponent
利用角分辩的光散射实验测量方法来提取各向同性随机表面的粗糙指数.在实验中用CCD探测器采集入射角是45°时的散射图像,并沿着获得的和入射角与散射角有关的等垂直波矢散射方位曲线,测量样品表面在散射角从10°到80°之间不同值时的15条光强散射轮廓.对每一条光强散射轮廓进行高斯函数拟合得到散射轮廓的半宽度,然后根据自仿射分形表面模型,通过散射轮廓的半宽度与垂直波失分量的变化关系得到样品表面的粗糙指数α.与原子力显微镜测量得到的粗糙指数相比较,两者符合的很好.
利用角分辯的光散射實驗測量方法來提取各嚮同性隨機錶麵的粗糙指數.在實驗中用CCD探測器採集入射角是45°時的散射圖像,併沿著穫得的和入射角與散射角有關的等垂直波矢散射方位麯線,測量樣品錶麵在散射角從10°到80°之間不同值時的15條光彊散射輪廓.對每一條光彊散射輪廓進行高斯函數擬閤得到散射輪廓的半寬度,然後根據自倣射分形錶麵模型,通過散射輪廓的半寬度與垂直波失分量的變化關繫得到樣品錶麵的粗糙指數α.與原子力顯微鏡測量得到的粗糙指數相比較,兩者符閤的很好.
이용각분변적광산사실험측량방법래제취각향동성수궤표면적조조지수.재실험중용CCD탐측기채집입사각시45°시적산사도상,병연착획득적화입사각여산사각유관적등수직파시산사방위곡선,측량양품표면재산사각종10°도80°지간불동치시적15조광강산사륜곽.대매일조광강산사륜곽진행고사함수의합득도산사륜곽적반관도,연후근거자방사분형표면모형,통과산사륜곽적반관도여수직파실분량적변화관계득도양품표면적조조지수α.여원자력현미경측량득도적조조지수상비교,량자부합적흔호.