材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2015年
3期
130-135
,共6页
陈彩云%戴丹%陈国新%巩金瑞%江南%詹肇麟
陳綵雲%戴丹%陳國新%鞏金瑞%江南%詹肇麟
진채운%대단%진국신%공금서%강남%첨조린
石墨烯%电学性能%制备%绝缘衬底
石墨烯%電學性能%製備%絕緣襯底
석묵희%전학성능%제비%절연츤저
graphene%electrical properties%preparation%insulating substrate
石墨烯自从2004年问世之后,由于独特的结构和优异的性能很快便成为了碳素家族的明星而引起了各界的关注.石墨烯独特的电学性能使其有望替代硅成为下一代半导体工业的主角.然而要实现石墨烯电子器件的构建,必须先解决在绝缘或半导体衬底上直接制备石墨烯的难题.综述了近几年不同绝缘衬底对化学气相沉积法制备石墨烯所产生的影响,分析比较了不同绝缘衬底的优缺点,并展望了石墨烯的发展及应用前景.
石墨烯自從2004年問世之後,由于獨特的結構和優異的性能很快便成為瞭碳素傢族的明星而引起瞭各界的關註.石墨烯獨特的電學性能使其有望替代硅成為下一代半導體工業的主角.然而要實現石墨烯電子器件的構建,必鬚先解決在絕緣或半導體襯底上直接製備石墨烯的難題.綜述瞭近幾年不同絕緣襯底對化學氣相沉積法製備石墨烯所產生的影響,分析比較瞭不同絕緣襯底的優缺點,併展望瞭石墨烯的髮展及應用前景.
석묵희자종2004년문세지후,유우독특적결구화우이적성능흔쾌편성위료탄소가족적명성이인기료각계적관주.석묵희독특적전학성능사기유망체대규성위하일대반도체공업적주각.연이요실현석묵희전자기건적구건,필수선해결재절연혹반도체츤저상직접제비석묵희적난제.종술료근궤년불동절연츤저대화학기상침적법제비석묵희소산생적영향,분석비교료불동절연츤저적우결점,병전망료석묵희적발전급응용전경.
