柔性衬底上金属褶皱结构制备及相关特性研究
유성츤저상금속습추결구제비급상관특성연구
Preparation and Characteristics of Metal Wrinkle on Flexible Substrates
  • 万方数据
    科学技术与工程 과학기술여공정
    SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
    2015年 12期 206-209 ,共4页

    陈萌%郭浩%杨江涛%赵苗苗%张斌珍%刘俊%薛晨阳%张文栋%唐军

    진맹%곽호%양강도%조묘묘%장빈진%류준%설신양%장문동%당군

    柔性衬底%金属褶皱结构%磁控溅射%电子皮肤 柔性襯底%金屬褶皺結構%磁控濺射%電子皮膚
    유성츤저%금속습추결구%자공천사%전자피부
    flexible substrate%wrinkle electrode%magnetron sputtering%E-skin209
    采用磁控溅射技术在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上制备金属褶皱结构,有效地解决了柔性结构发生形变时电阻值发生较大改变甚至失效的问题.研究了不同溅射时间对金属褶皱结构周期及高度的影响,并对金属褶皱结构的电学性能进行测试.利用原子力显微镜分析表征柔性衬底上金属褶皱结构的表面形貌,利用数字万用表进行样品表面电阻值的测量.测试结果表明:随着溅射时间的增加,金属褶皱结构的周期和高度都呈增大趋势,电阻增长率变得缓慢,对信号的响应程度也越来越小.
    채용자공천사기술재취이갑기규양완(PDMS)상제비금속습추결구,유효지해결료유성결구발생형변시전조치발생교대개변심지실효적문제.연구료불동천사시간대금속습추결구주기급고도적영향,병대금속습추결구적전학성능진행측시.이용원자력현미경분석표정유성츤저상금속습추결구적표면형모,이용수자만용표진행양품표면전조치적측량.측시결과표명:수착천사시간적증가,금속습추결구적주기화고도도정증대추세,전조증장솔변득완만,대신호적향응정도야월래월소.
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