机电一体化
機電一體化
궤전일체화
MECHATRONICS
2015年
4期
18-22
,共5页
光栅干涉%相位移动扫描%纳米级测量系统
光柵榦涉%相位移動掃描%納米級測量繫統
광책간섭%상위이동소묘%납미급측량계통
grating interferometer%stripe phase shift scanning%nanoscale measurement systems
精密定位技术作为精密制造和精密装备的基础,一直制约着我国精密制造和精密装备产业的发展,而纳米级的位移测量技术又是制约精密定位技术发展的一个重要原因.研究了一种基于光栅干涉相位移动扫描原理的纳米级位移测量系统,利用光栅干涉仪实现光学四倍频,再利用条纹移相机构实现信号的进一步细分,获得亚纳米级的测量分辨率.
精密定位技術作為精密製造和精密裝備的基礎,一直製約著我國精密製造和精密裝備產業的髮展,而納米級的位移測量技術又是製約精密定位技術髮展的一箇重要原因.研究瞭一種基于光柵榦涉相位移動掃描原理的納米級位移測量繫統,利用光柵榦涉儀實現光學四倍頻,再利用條紋移相機構實現信號的進一步細分,穫得亞納米級的測量分辨率.
정밀정위기술작위정밀제조화정밀장비적기출,일직제약착아국정밀제조화정밀장비산업적발전,이납미급적위이측량기술우시제약정밀정위기술발전적일개중요원인.연구료일충기우광책간섭상위이동소묘원리적납미급위이측량계통,이용광책간섭의실현광학사배빈,재이용조문이상궤구실현신호적진일보세분,획득아납미급적측량분변솔.
