科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2015年
12期
161-167
,共7页
陈黎%晏骥%陈铭%杨品%杨正华
陳黎%晏驥%陳銘%楊品%楊正華
진려%안기%진명%양품%양정화
惯性约束聚变%激光微加工%针孔阵列%狭缝片
慣性約束聚變%激光微加工%針孔陣列%狹縫片
관성약속취변%격광미가공%침공진렬%협봉편
inertial confinement fusion%laser micro-machining%pinhole array%slit
各种式样的针孔板以及狭缝片是惯性约束聚变(ICF)以及高能量密度物理(HEDP)实验研究中诊断设备的重要构成部分.从实验诊断中所需求的多种结构类型的针孔板/狭缝片出发,针对激光微加工加工参数进行了细致的性能研究优化了针孔板参数指标,同时针对狭缝片加工创新地提出了“三段式”新型加工工艺,提升了狭缝片参数指标.最终,针对孔径在12 ～ 15 μm的4X4针孔阵列板其孔径一致性从40％提升到20％,缝宽20 μm的狭缝片其平整性从±5μm提升到±2μm,解决了100×100超大型针孔阵列出现的针孔形状不规则问题,显著地提升了实验诊断所用的针孔板/狭缝片的性能.
各種式樣的針孔闆以及狹縫片是慣性約束聚變(ICF)以及高能量密度物理(HEDP)實驗研究中診斷設備的重要構成部分.從實驗診斷中所需求的多種結構類型的針孔闆/狹縫片齣髮,針對激光微加工加工參數進行瞭細緻的性能研究優化瞭針孔闆參數指標,同時針對狹縫片加工創新地提齣瞭“三段式”新型加工工藝,提升瞭狹縫片參數指標.最終,針對孔徑在12 ～ 15 μm的4X4針孔陣列闆其孔徑一緻性從40％提升到20％,縫寬20 μm的狹縫片其平整性從±5μm提升到±2μm,解決瞭100×100超大型針孔陣列齣現的針孔形狀不規則問題,顯著地提升瞭實驗診斷所用的針孔闆/狹縫片的性能.
각충식양적침공판이급협봉편시관성약속취변(ICF)이급고능량밀도물리(HEDP)실험연구중진단설비적중요구성부분.종실험진단중소수구적다충결구류형적침공판/협봉편출발,침대격광미가공가공삼수진행료세치적성능연구우화료침공판삼수지표,동시침대협봉편가공창신지제출료“삼단식”신형가공공예,제승료협봉편삼수지표.최종,침대공경재12 ～ 15 μm적4X4침공진렬판기공경일치성종40％제승도20％,봉관20 μm적협봉편기평정성종±5μm제승도±2μm,해결료100×100초대형침공진렬출현적침공형상불규칙문제,현저지제승료실험진단소용적침공판/협봉편적성능.
