材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2015年
4期
6-9,17
,共5页
彭鸿雁%赵万邦%赵立新%姜宏伟%孙丽
彭鴻雁%趙萬邦%趙立新%薑宏偉%孫麗
팽홍안%조만방%조립신%강굉위%손려
纳米晶金刚石膜%热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积%氩气/甲烷/氢气混合气
納米晶金剛石膜%熱陰極直流輝光等離子體化學氣相沉積%氬氣/甲烷/氫氣混閤氣
납미정금강석막%열음겁직류휘광등리자체화학기상침적%아기/갑완/경기혼합기
nanocrystalline diamond film%hot cathode direct current plasma chemical vapor deposition%Ar/CH4/H2 mixed gases
采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法,在氩气/甲烷/氢气混合气氛中制备出纳米晶金刚石膜,研究不同氩气/氢气流量比对纳米晶金刚石膜沉积的影响.对样品形貌的SEM测试表明,随着氩气与氢气流量比由40/160增加到190/10,膜中金刚石晶粒尺寸由约600 nm减小到约30 nm.金刚石膜Raman谱中金刚石特征峰逐渐减弱,石墨G峰逐渐增强,反式聚乙炔特征峰及其伴峰强度加大.等离子体光谱分析表明C2是生长纳米晶金刚石膜的主要活性基团.
採用熱陰極直流輝光等離子體CVD方法,在氬氣/甲烷/氫氣混閤氣氛中製備齣納米晶金剛石膜,研究不同氬氣/氫氣流量比對納米晶金剛石膜沉積的影響.對樣品形貌的SEM測試錶明,隨著氬氣與氫氣流量比由40/160增加到190/10,膜中金剛石晶粒呎吋由約600 nm減小到約30 nm.金剛石膜Raman譜中金剛石特徵峰逐漸減弱,石墨G峰逐漸增彊,反式聚乙炔特徵峰及其伴峰彊度加大.等離子體光譜分析錶明C2是生長納米晶金剛石膜的主要活性基糰.
채용열음겁직류휘광등리자체CVD방법,재아기/갑완/경기혼합기분중제비출납미정금강석막,연구불동아기/경기류량비대납미정금강석막침적적영향.대양품형모적SEM측시표명,수착아기여경기류량비유40/160증가도190/10,막중금강석정립척촌유약600 nm감소도약30 nm.금강석막Raman보중금강석특정봉축점감약,석묵G봉축점증강,반식취을결특정봉급기반봉강도가대.등리자체광보분석표명C2시생장납미정금강석막적주요활성기단.
