沈阳大学学报（自然科学版）
瀋暘大學學報（自然科學版）
침양대학학보（자연과학판）
Journal of Shenyang University(Natural Science)
2015年
2期
93-97
,共5页
王美涵%温佳星%龙海波%侯朝霞
王美涵%溫佳星%龍海波%侯朝霞
왕미함%온가성%룡해파%후조하
氧化钨薄膜%磁控溅射%氧分压%结构%组成
氧化鎢薄膜%磁控濺射%氧分壓%結構%組成
양화오박막%자공천사%양분압%결구%조성
采用直流反应磁控溅射,在不同氧分压条件下制备了氧化钨薄膜,并对薄膜进行了热处理.通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、能谱(EDS)、X射线光电子能谱(XPS)和紫外-可见光谱(UV-VIS)等手段表征了氧化钨薄膜的晶体结构、表面形貌、化学组成以及透射率.结果表明:沉积所得氧化钨薄膜均为无定形结构,经400℃热处理后转变为单斜晶体结构;薄膜表面形貌受氧分压和热处理影响较大;沉积所得氧化钨薄膜的化学分子式应为WO3-x形式,热处理使得薄膜的成分趋近于WO3;薄膜颜色随着氧分压的增加逐渐变浅,当氧分压达到0.2Pa以上时,薄膜呈现完全透明.
採用直流反應磁控濺射,在不同氧分壓條件下製備瞭氧化鎢薄膜,併對薄膜進行瞭熱處理.通過X射線衍射(XRD)、場髮射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、能譜(EDS)、X射線光電子能譜(XPS)和紫外-可見光譜(UV-VIS)等手段錶徵瞭氧化鎢薄膜的晶體結構、錶麵形貌、化學組成以及透射率.結果錶明:沉積所得氧化鎢薄膜均為無定形結構,經400℃熱處理後轉變為單斜晶體結構;薄膜錶麵形貌受氧分壓和熱處理影響較大;沉積所得氧化鎢薄膜的化學分子式應為WO3-x形式,熱處理使得薄膜的成分趨近于WO3;薄膜顏色隨著氧分壓的增加逐漸變淺,噹氧分壓達到0.2Pa以上時,薄膜呈現完全透明.
채용직류반응자공천사,재불동양분압조건하제비료양화오박막,병대박막진행료열처리.통과X사선연사(XRD)、장발사소묘전자현미경(FE-SEM)、능보(EDS)、X사선광전자능보(XPS)화자외-가견광보(UV-VIS)등수단표정료양화오박막적정체결구、표면형모、화학조성이급투사솔.결과표명:침적소득양화오박막균위무정형결구,경400℃열처리후전변위단사정체결구;박막표면형모수양분압화열처리영향교대;침적소득양화오박막적화학분자식응위WO3-x형식,열처리사득박막적성분추근우WO3;박막안색수착양분압적증가축점변천,당양분압체도0.2Pa이상시,박막정현완전투명.
