材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2015年
2期
105-109
,共5页
AZO靶材%AZO残靶%回收利用
AZO靶材%AZO殘靶%迴收利用
AZO파재%AZO잔파%회수이용
AZO target%waste AZO target%recycling
将AZO原料粉末和AZO残靶研磨后的粉末混合,采用注浆成型和常压大气烧结工艺制备靶材,实验主要测试了相对密度、吸水率、线收缩率和电阻率等性能,并通过XRD和SEM表征AZO靶材的晶体形态和微观结构,与新靶材进行性能对比,研究残靶粉末回收利用对靶材性能的影响.残靶粉末的加入对AZO靶材有轻微影响,测试结果显示烧结温度1450℃、保温5h、AZO残靶加入量为10％时有较好的性能:相对密度高达99.24％,吸水率和收缩率分别为17.96％和15.70％,电阻率为2.12×10-3Q· cm.含有残靶的AZO靶材稍差的性能可能归结于AZO粉末和残靶粉末的兼容性.
將AZO原料粉末和AZO殘靶研磨後的粉末混閤,採用註漿成型和常壓大氣燒結工藝製備靶材,實驗主要測試瞭相對密度、吸水率、線收縮率和電阻率等性能,併通過XRD和SEM錶徵AZO靶材的晶體形態和微觀結構,與新靶材進行性能對比,研究殘靶粉末迴收利用對靶材性能的影響.殘靶粉末的加入對AZO靶材有輕微影響,測試結果顯示燒結溫度1450℃、保溫5h、AZO殘靶加入量為10％時有較好的性能:相對密度高達99.24％,吸水率和收縮率分彆為17.96％和15.70％,電阻率為2.12×10-3Q· cm.含有殘靶的AZO靶材稍差的性能可能歸結于AZO粉末和殘靶粉末的兼容性.
장AZO원료분말화AZO잔파연마후적분말혼합,채용주장성형화상압대기소결공예제비파재,실험주요측시료상대밀도、흡수솔、선수축솔화전조솔등성능,병통과XRD화SEM표정AZO파재적정체형태화미관결구,여신파재진행성능대비,연구잔파분말회수이용대파재성능적영향.잔파분말적가입대AZO파재유경미영향,측시결과현시소결온도1450℃、보온5h、AZO잔파가입량위10％시유교호적성능:상대밀도고체99.24％,흡수솔화수축솔분별위17.96％화15.70％,전조솔위2.12×10-3Q· cm.함유잔파적AZO파재초차적성능가능귀결우AZO분말화잔파분말적겸용성.
