机床与液压
機床與液壓
궤상여액압
MACHINE TOOL & HYDRAULICS
2015年
5期
63-67
,共5页
高精密定位平台%波纹管%迟滞特性%精度
高精密定位平檯%波紋管%遲滯特性%精度
고정밀정위평태%파문관%지체특성%정도
High-precision positioning stage%Bellows%Hysteresis%Accuracy
为了提高精密定位平台的精度和行程,设计了一种新型的气动伺服定位平台.以金属波纹管为独立执行机构,采用有限元法设计了气浮导轨.以气浮导轨支撑,研究无摩擦条件下的较大行程的精密控制.对波纹管的机械特性进行分析,结合实验数据形成的迟滞初载曲线,进行参数辨识,确定基本迟滞算子的阈值和权值,建立了基于PI模型的系统迟滞模型,并对模型进行了验证.结合建立的系统迟滞模型,采用变化速率为0.5V/s和5 V/s的锯齿波进行实验,结果表明:系统的迟滞模型输出很好地逼近了系统输出;开环情况下,实际逼近误差慢速信号输入逼近小于10 μm,快速信号输入逼近小于20 μm,其性能上能够满足高精密定位平台的精度要求.
為瞭提高精密定位平檯的精度和行程,設計瞭一種新型的氣動伺服定位平檯.以金屬波紋管為獨立執行機構,採用有限元法設計瞭氣浮導軌.以氣浮導軌支撐,研究無摩抆條件下的較大行程的精密控製.對波紋管的機械特性進行分析,結閤實驗數據形成的遲滯初載麯線,進行參數辨識,確定基本遲滯算子的閾值和權值,建立瞭基于PI模型的繫統遲滯模型,併對模型進行瞭驗證.結閤建立的繫統遲滯模型,採用變化速率為0.5V/s和5 V/s的鋸齒波進行實驗,結果錶明:繫統的遲滯模型輸齣很好地逼近瞭繫統輸齣;開環情況下,實際逼近誤差慢速信號輸入逼近小于10 μm,快速信號輸入逼近小于20 μm,其性能上能夠滿足高精密定位平檯的精度要求.
위료제고정밀정위평태적정도화행정,설계료일충신형적기동사복정위평태.이금속파문관위독립집행궤구,채용유한원법설계료기부도궤.이기부도궤지탱,연구무마찰조건하적교대행정적정밀공제.대파문관적궤계특성진행분석,결합실험수거형성적지체초재곡선,진행삼수변식,학정기본지체산자적역치화권치,건립료기우PI모형적계통지체모형,병대모형진행료험증.결합건립적계통지체모형,채용변화속솔위0.5V/s화5 V/s적거치파진행실험,결과표명:계통적지체모형수출흔호지핍근료계통수출;개배정황하,실제핍근오차만속신호수입핍근소우10 μm,쾌속신호수입핍근소우20 μm,기성능상능구만족고정밀정위평태적정도요구.
