常州大学学报（自然科学版）
常州大學學報（自然科學版）
상주대학학보（자연과학판）
Journal of ChangZhou University(Natural Science Edition)
2015年
2期
35-38
,共4页
磁致伸缩材料%传感器%MEMS%退火%内应力
磁緻伸縮材料%傳感器%MEMS%退火%內應力
자치신축재료%전감기%MEMS%퇴화%내응력
magnetostrictive materials%sensors%MEMS%annealing%internal stresses
采用MEMS技术制备了尺寸为500μm×100μm×15μm的微尺度磁致伸缩材料传感器,发现MEMS技术沉积过程中传感器内部不可避免地产生了内应力,对传感器磁性能带来不利影响.对徽尺度磁致伸缩材料传感器进行真空热处理,旨在消除内应力,进一步提高传感器磁学性能.结果表明:真空退火可减小或消除传感器内应力,提高磁学性能,其中最佳退火温度为250℃,时间为2h.该温度下退火不仅可完全释放传感器内应力,还可以改善波谱质量,提高共振频率.
採用MEMS技術製備瞭呎吋為500μm×100μm×15μm的微呎度磁緻伸縮材料傳感器,髮現MEMS技術沉積過程中傳感器內部不可避免地產生瞭內應力,對傳感器磁性能帶來不利影響.對徽呎度磁緻伸縮材料傳感器進行真空熱處理,旨在消除內應力,進一步提高傳感器磁學性能.結果錶明:真空退火可減小或消除傳感器內應力,提高磁學性能,其中最佳退火溫度為250℃,時間為2h.該溫度下退火不僅可完全釋放傳感器內應力,還可以改善波譜質量,提高共振頻率.
채용MEMS기술제비료척촌위500μm×100μm×15μm적미척도자치신축재료전감기,발현MEMS기술침적과정중전감기내부불가피면지산생료내응력,대전감기자성능대래불리영향.대휘척도자치신축재료전감기진행진공열처리,지재소제내응력,진일보제고전감기자학성능.결과표명:진공퇴화가감소혹소제전감기내응력,제고자학성능,기중최가퇴화온도위250℃,시간위2h.해온도하퇴화불부가완전석방전감기내응력,환가이개선파보질량,제고공진빈솔.
