青岛大学学报（自然科学版）
青島大學學報（自然科學版）
청도대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2015年
1期
27-29,52
,共4页
王晓杰%宿杰%张永成%李媛%卢朝靖
王曉傑%宿傑%張永成%李媛%盧朝靖
왕효걸%숙걸%장영성%리원%로조정
Bi4LaTi3FeO15薄膜%溶胶-凝胶%铁电性能%介电性能
Bi4LaTi3FeO15薄膜%溶膠-凝膠%鐵電性能%介電性能
Bi4LaTi3FeO15박막%용효-응효%철전성능%개전성능
Bi4LaTi3FeO15 thin film%sol-gel%ferroelectric property%dielectric property
用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积了Bi4LaTi3FeO15(BLTFO)薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对其微观结构进行了表征,用铁电测试仪和阻抗分析仪分别对其电学性能进行了测试.结果表明,所制备的薄膜为纯相四层层状钙钛矿结构,表面起伏度小、颗粒致密,厚度约为350nm.室温下,BLTFO薄膜显示出良好的铁电性能和介电性能,其剩余极化值2Pr为32.87μC/cm2.在300kHz下,相对介电常数εr为370,介电损耗tanδ为0.024.
用溶膠-凝膠(sol-gel)工藝在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉積瞭Bi4LaTi3FeO15(BLTFO)薄膜.用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)對其微觀結構進行瞭錶徵,用鐵電測試儀和阻抗分析儀分彆對其電學性能進行瞭測試.結果錶明,所製備的薄膜為純相四層層狀鈣鈦礦結構,錶麵起伏度小、顆粒緻密,厚度約為350nm.室溫下,BLTFO薄膜顯示齣良好的鐵電性能和介電性能,其剩餘極化值2Pr為32.87μC/cm2.在300kHz下,相對介電常數εr為370,介電損耗tanδ為0.024.
용용효-응효(sol-gel)공예재Pt/Ti/SiO2/Si(100)기편상침적료Bi4LaTi3FeO15(BLTFO)박막.용X사선연사의(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화원자력현미경(AFM)대기미관결구진행료표정,용철전측시의화조항분석의분별대기전학성능진행료측시.결과표명,소제비적박막위순상사층층상개태광결구,표면기복도소、과립치밀,후도약위350nm.실온하,BLTFO박막현시출량호적철전성능화개전성능,기잉여겁화치2Pr위32.87μC/cm2.재300kHz하,상대개전상수εr위370,개전손모tanδ위0.024.
