质谱学报
質譜學報
질보학보
2015年
3期
282-288
,共7页
王培智%田地%包泽民%龙涛%张玉海%邱春玲%刘敦一
王培智%田地%包澤民%龍濤%張玉海%邱春玲%劉敦一
왕배지%전지%포택민%룡도%장옥해%구춘령%류돈일
成像系统%Schwarzschild双反射系统%ZEMAX%飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)
成像繫統%Schwarzschild雙反射繫統%ZEMAX%飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS)
성상계통%Schwarzschild쌍반사계통%ZEMAX%비행시간이차리자질보(TOF-SIMS)
imaging system%Schwarzschild double reflection system%ZEMAX%time of flight-secondary ion mass spectrometer (TOF-SIMS)
本研究为飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)设计了一种具有高空间分辨率的样品光学成像系统.该系统由一种改进的Schwarzschild双反射系统、45°反射镜、变焦镜头及CCD图像传感器构成.采用ZEMAX软件对传统Schwarzschild模型进行计算和改进,得出系统优化参数并进行仿真验证.仿真结果表明:系统最佳的成像分辨率达1 μm,极限分辨率为0.4 μm,RMS半径小于艾里斑直径,波像差满足瑞利判据,成像质量良好.
本研究為飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)設計瞭一種具有高空間分辨率的樣品光學成像繫統.該繫統由一種改進的Schwarzschild雙反射繫統、45°反射鏡、變焦鏡頭及CCD圖像傳感器構成.採用ZEMAX軟件對傳統Schwarzschild模型進行計算和改進,得齣繫統優化參數併進行倣真驗證.倣真結果錶明:繫統最佳的成像分辨率達1 μm,極限分辨率為0.4 μm,RMS半徑小于艾裏斑直徑,波像差滿足瑞利判據,成像質量良好.
본연구위비행시간이차리자질보의(TOF-SIMS)설계료일충구유고공간분변솔적양품광학성상계통.해계통유일충개진적Schwarzschild쌍반사계통、45°반사경、변초경두급CCD도상전감기구성.채용ZEMAX연건대전통Schwarzschild모형진행계산화개진,득출계통우화삼수병진행방진험증.방진결과표명:계통최가적성상분변솔체1 μm,겁한분변솔위0.4 μm,RMS반경소우애리반직경,파상차만족서리판거,성상질량량호.
