一种高冲击MEMS加速度传感器的仿真与优化
일충고충격MEMS가속도전감기적방진여우화
Research on Simulation and Optimization of a High-g MEMS Accelerometer
  • 万方数据
    计算机测量与控制 계산궤측량여공제
    COMPUTER MEASUREMENT & CONTROL
    2015年 5期 1831-1834 ,共4页

    侯帅%张振海%林然%张东红%李科杰%柳新宇%张亮%李治清%李剑

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    高冲击%加速度传感器%MEMS%有限元%尺寸优化 高遲擊%加速度傳感器%MEMS%有限元%呎吋優化
    고충격%가속도전감기%MEMS%유한원%척촌우화
    high-g%accelerometer%MEMS%finite element%size optimization
    基于高冲击MEMS加速度传感器的冲击灵敏度、频率响应与敏感芯片的结构尺寸存在相互制约关系,提出在满足传感器结构强度和固有频率条件下,提高传感器冲击灵敏度的理论分析、仿真模拟与实验验证的方法;运用ANSYS软件对敏感芯片的弹性膜片厚度与中心岛厚度进行多次设计与仿真,通过多组仿真数据对传感器的结构尺寸进行优化;高冲击实验验证表明,优化的传感器结构尺寸、性能指标能够满足设计要求,冲击灵敏度较高.
    기우고충격MEMS가속도전감기적충격령민도、빈솔향응여민감심편적결구척촌존재상호제약관계,제출재만족전감기결구강도화고유빈솔조건하,제고전감기충격령민도적이론분석、방진모의여실험험증적방법;운용ANSYS연건대민감심편적탄성막편후도여중심도후도진행다차설계여방진,통과다조방진수거대전감기적결구척촌진행우화;고충격실험험증표명,우화적전감기결구척촌、성능지표능구만족설계요구,충격령민도교고.
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