科技致富向导
科技緻富嚮導
과기치부향도
KEJI ZHIFU XIANGDAO
2015年
8期
229-229
,共1页
提纯%三氯氢硅%除硼%除磷
提純%三氯氫硅%除硼%除燐
제순%삼록경규%제붕%제린
在三氯氢硅中，磷、硼杂质的存在，不仅影响三氯氢硅材料质量，也降低三氯氢硅产能。优化三氯氢硅提纯工艺，去除对磷、硼杂质，不仅可以降低能耗，也可以更好的控制三氯氢硅质量，提高产能。以下本篇浅析在三氯氢硅提纯中如何去除磷硼杂质。
在三氯氫硅中，燐、硼雜質的存在，不僅影響三氯氫硅材料質量，也降低三氯氫硅產能。優化三氯氫硅提純工藝，去除對燐、硼雜質，不僅可以降低能耗，也可以更好的控製三氯氫硅質量，提高產能。以下本篇淺析在三氯氫硅提純中如何去除燐硼雜質。
재삼록경규중，린、붕잡질적존재，불부영향삼록경규재료질량，야강저삼록경규산능。우화삼록경규제순공예，거제대린、붕잡질，불부가이강저능모，야가이경호적공제삼록경규질량，제고산능。이하본편천석재삼록경규제순중여하거제린붕잡질。
