制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2015年
5期
92-96
,共5页
钟静%魏昕%谢小柱%杨向东
鐘靜%魏昕%謝小柱%楊嚮東
종정%위흔%사소주%양향동
化学机械抛光%抛光垫沟槽%液膜厚度
化學機械拋光%拋光墊溝槽%液膜厚度
화학궤계포광%포광점구조%액막후도
chemical mechanical polishing%polishing pad groove%slurry film thickness
抛光垫表面沟槽结构是决定抛光液抛光效果的重要因素之一.为了研究抛光垫表面沟槽对化学机械抛光过程的影响,设计并搭建了高速摄影仪在线检测平台,检测并研究了有无沟槽及不同类型沟槽结构对液膜厚度的影响.实验结果表明:抛光垫开槽可以增加抛光液液膜厚度分布均匀性;在同心圆型、放射型、网格型、复合型4种类型抛光垫结构中复合型沟槽具有最优抛光效果.
拋光墊錶麵溝槽結構是決定拋光液拋光效果的重要因素之一.為瞭研究拋光墊錶麵溝槽對化學機械拋光過程的影響,設計併搭建瞭高速攝影儀在線檢測平檯,檢測併研究瞭有無溝槽及不同類型溝槽結構對液膜厚度的影響.實驗結果錶明:拋光墊開槽可以增加拋光液液膜厚度分佈均勻性;在同心圓型、放射型、網格型、複閤型4種類型拋光墊結構中複閤型溝槽具有最優拋光效果.
포광점표면구조결구시결정포광액포광효과적중요인소지일.위료연구포광점표면구조대화학궤계포광과정적영향,설계병탑건료고속섭영의재선검측평태,검측병연구료유무구조급불동류형구조결구대액막후도적영향.실험결과표명:포광점개조가이증가포광액액막후도분포균균성;재동심원형、방사형、망격형、복합형4충류형포광점결구중복합형구조구유최우포광효과.
